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JC Nabity(美國(guó))
JC Nabity
美國(guó)JCNabityLithographySystems www.jcnabity.com美國(guó)JCNabityLithographySystems成立于1988年.公司成功研發(fā)了基于改造商品SEM、STEM或FIB的電子束曝光裝置(NanometerPatternGenerationSystem納米圖形發(fā)生系統(tǒng),簡(jiǎn)稱(chēng)NPGS,又稱(chēng)電子束微影系統(tǒng))。電子束曝光技術(shù)具有可直接刻畫(huà)精細(xì)圖案的優(yōu)點(diǎn),且高能
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