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Nanoplus
德國Nanopluswww.nanoplus.comNanoplusGmbH公司于1998年自Würzburg大學技術物理系脫離而創(chuàng)建。其主要活動是將研究結果應用于實際程序與產(chǎn)品內(nèi),其專門從事光電子學儀器與客戶指定的微-毫微結構塑造。目前在nanoplus內(nèi)有15名員工。該公司裝備有一條完整的處理線用于半導體激光制造,其包括不同的干式蝕刻系統(tǒng)、噴濺系統(tǒng)、脫水器、掩模對準器、激光裝備工具等 等,均處于250m2的無塵室設備中(級別100-10000)。該公司還具有12m2的實驗室空間以用于技術支持(高純度氣體與水的制備)。 Nanoplus的主產(chǎn)品是與返回激光偶合的復合體,它是通過nanoplus自己的獨特技術制造的。通過此項技術實現(xiàn)的DFB激光具有高單獨模式產(chǎn)出,高效率,以及高側模式抑制率(>40dB),其與低背射敏感度與端口接合。近些年所開發(fā)的該技術不要求過度生長,即可應用與各種半導體,包括基于GaSb、InP與GaAs的材料。基于這些材料系統(tǒng),nanoplus制造波長范圍為0.7到2.5μm的DFB與Fabry-Perot激光二極管,應用于傳感技術與分光鏡技術。此外,nanoplus制造波長范圍為5到12μm的量子級串聯(lián)激光。Nanopluswasfoundedin1998asaspin-offfromthedepartmentofTechnicalPhysicsatWürzburgUniversitytotransferresearchresultsintoapplicationsandproductswithaspecializationinoptoelectronicsdevicesandcustomerspecificmicro-andnano-structuring.Thecompanyisequippedwithacompleteprocesslineforsemiconductorlaserfabrication,comprisingdifferentdryetchsys
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