- 品牌/商標(biāo)：HORIBA
- 企業(yè)類(lèi)型：貿(mào)易商
- 原產(chǎn)地：j.p.
■高（設(shè)定點(diǎn)為基準(zhǔn)）MFC的線(xiàn)性度將由近似多項(xiàng)式曲線(xiàn)進(jìn)行補(bǔ)償。這幫助實(shí)現(xiàn)了對(duì)所有流量控制范圍的高控制。為了實(shí)際氣體流量的準(zhǔn)確性進(jìn)一步提高，各種工藝氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)將按照HORIBA STEC標(biāo)準(zhǔn)的氣體測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行校驗(yàn)。
■全流量范圍的高速響應(yīng) （新的可變PID運(yùn)算法則：1秒高速響應(yīng)） SEC-N100 系列搭載了新開(kāi)發(fā)的“可變PID系統(tǒng)”，對(duì)于所有設(shè)置點(diǎn)它可以實(shí)現(xiàn)1秒內(nèi)的高響應(yīng)速度。當(dāng)您改變標(biāo)定滿(mǎn)量程和氣體種類(lèi)時(shí)，可變PID將根據(jù)當(dāng)下的設(shè)定點(diǎn)不斷變化，其PID參數(shù)也將隨之被優(yōu)化。
■多氣體，多量程的解決方案 專(zhuān)用的軟件賦予用戶(hù)可以自由更改規(guī)格的能力 新的多氣體、多量程系統(tǒng)使用戶(hù)自由變更氣體種類(lèi)和量程成為可能。
■全流量范圍的高速響應(yīng) （新的可變PID運(yùn)算法則：1秒高速響應(yīng)） SEC-N100 系列搭載了新開(kāi)發(fā)的“可變PID系統(tǒng)”，對(duì)于所有設(shè)置點(diǎn)它可以實(shí)現(xiàn)1秒內(nèi)的高響應(yīng)速度。當(dāng)您改變標(biāo)定滿(mǎn)量程和氣體種類(lèi)時(shí)，可變PID將根據(jù)當(dāng)下的設(shè)定點(diǎn)不斷變化，其PID參數(shù)也將隨之被優(yōu)化。
■多氣體，多量程的解決方案 專(zhuān)用的軟件賦予用戶(hù)可以自由更改規(guī)格的能力 新的多氣體、多量程系統(tǒng)使用戶(hù)自由變更氣體種類(lèi)和量程成為可能。
