液晶盒間隙厚度測(cè)量?jī)x 一．用途  本測(cè)量?jī)x可用來(lái)測(cè)量液晶盒內(nèi)間隙之厚度（1um―10um）；電容膜或其他類(lèi)型薄膜的厚度（1um-50um）；也可當(dāng)作臺(tái)階儀用來(lái)測(cè)量十分薄的薄膜的厚度（10nm-1um），如液晶顯示器中的PI膜、ITO和氧化硅層厚度的測(cè)量。   二．測(cè)量原理 激光束以不同入射角投射到被測(cè)樣品中，利用激光束從液晶盒內(nèi)空氣間隙的兩個(gè)界面的反射光所產(chǎn)生的光干涉效應(yīng)，通過(guò)儀器的設(shè)計(jì)把無(wú)法直接測(cè)量的微小空氣間隙厚度放大成可直接測(cè)量的直線長(zhǎng)度從而確定空氣間隙的厚度。測(cè)量?jī)x有I型和II型兩種不同結(jié)構(gòu)，I型激光束是由上向下投射到被測(cè)樣品。II型激光束是由下向上投射到被測(cè)樣品。   三．主要技術(shù)性能 1．測(cè)量范圍：10nm-50um。 2．測(cè)量：對(duì)厚度在10nm-1um范圍測(cè)量的誤差為1nm；對(duì)厚度在1um―10um范圍測(cè)量的百分誤差小于0.1%；對(duì)厚度在10-50um范圍測(cè)量的百分誤差小于0.3%。 3．光源：波長(zhǎng)為0.675um的半導(dǎo)體激光器。 4．測(cè)量方法：用鼠標(biāo)控制計(jì)算機(jī)介面顯示的按鈕用1性、全自動(dòng)地進(jìn)行測(cè)量和數(shù)據(jù)處理，并顯示出測(cè)量結(jié)果。 5．載樣品臺(tái)尺寸及被測(cè)點(diǎn)的限制：I型的載樣品臺(tái)尺寸為 200mm * 150mm ,被測(cè)樣品的尺寸無(wú)限制但要求被測(cè)點(diǎn)與被測(cè)樣品其中一條邊界的距離不大于 75mm 或可根據(jù)用戶要求重新設(shè)計(jì)。II型的載樣品臺(tái)尺寸為 300mm * 200mm ,對(duì)被測(cè)樣品的尺寸和被測(cè)點(diǎn)的位置均無(wú)限制。 6．測(cè)量時(shí)間：小于2秒/點(diǎn)。 7．使用電源：交流220伏、150瓦，為測(cè)量宜采用具有穩(wěn)壓及脈沖濾波的電源供電。   四．售后服務(wù) 儀器保修2年。以后維修只收件更換費(fèi)。   五．儀器之比較     現(xiàn)在市場(chǎng)上供應(yīng)的厚度（1-50μm）測(cè)量?jī)x器，一般采用反射計(jì)，它通過(guò)測(cè)量垂直入射白光的反射率來(lái)確定樣品的厚度，這類(lèi)儀器采用分光光譜技術(shù)還需要的光強(qiáng)度的測(cè)量設(shè)備，因此價(jià)格較為昂貴，由于光強(qiáng)測(cè)量的性依賴(lài)于測(cè)量元器件性能的穩(wěn)定性隨著環(huán)境條件的變化或經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間使用后測(cè)量結(jié)果的一致性，儀器的維護(hù)費(fèi)用高。        本儀器是中山大學(xué)物理系史隆培所發(fā)明，測(cè)量方法十分簡(jiǎn)單而儀器經(jīng)久耐用。從1995年起先后為香港高發(fā)和香港 精電 等公司提供多臺(tái)測(cè)量?jī)x，至今高發(fā)公司屬下的深圳高華和順德龍高公司仍在使用，他們經(jīng)過(guò)多年在不同環(huán)境條件下使用儀器不用維修或較準(zhǔn)仍能對(duì)同一樣品測(cè)量結(jié)果的一致性。