| 類型 | 光學(xué)顯微鏡 | 品牌 | zeta |
| 型號(hào) | zeta 20 | 儀器放大倍數(shù) | 5x---100x |
| 目鏡放大倍數(shù) | 5x---100x | 物鏡放大倍數(shù) | 5x---100x |
| 適用范圍 | 更快速地對(duì)LED/PSS、太陽(yáng)能電池、微流體導(dǎo)管等樣品表面進(jìn)行成像分析 |
Zeta光學(xué)顯微鏡
三維成像及測(cè)量系統(tǒng)
- · 樣本本色三維成像
- · 臺(tái)階高度，線、面粗糙度，角度和尺寸測(cè)量
- · 高粗糙度、低反射率樣品的測(cè)量
- · 深槽和其它高縱橫比面形貌特征的成像
- · 薄膜厚度測(cè)量和DIC功能選項(xiàng)
- · 多功能、操作簡(jiǎn)便的應(yīng)用軟件
由位于美國(guó)硅谷的Zeta儀器公司研制，Zeta 20 是一個(gè)集多種測(cè)量手段于一身的精密光學(xué)儀器。它體積小，，使用方便，是解決用戶三維成像和測(cè)量問(wèn)題的工具。與市場(chǎng)上售價(jià)昂貴的同類產(chǎn)品相比，ZETA 20的三維成像技術(shù)能夠更準(zhǔn)確，更快速地對(duì)LED/PSS、太陽(yáng)能電池、微流體導(dǎo)管等樣品表面進(jìn)行成像分析。非接觸式測(cè)量加上維護(hù)成本使得Zeta 20成為三維測(cè)量系統(tǒng)中性能價(jià)格比優(yōu)的解決方案。
應(yīng)用實(shí)例
1. LED/PSS（圖形化藍(lán)寶石基板） 高度、尺寸和間距的自動(dòng)測(cè)量；蝕刻前后的基板表面測(cè)量
2.太陽(yáng)能電池 AR薄膜厚度監(jiān)控；HDR成像使得同時(shí)測(cè)量高反射率的柵線與低反射率的氮化硅成為可能
3.生物科技/微流體 大視場(chǎng)三維成像；高縱橫比深槽和其它復(fù)雜表面形貌特征的測(cè)量
4.精密研磨 鉆石拋光墊等粗糙表面的成像和測(cè)量
典型系統(tǒng)配置
顯微鏡系統(tǒng)
光源：高亮度白光LED
物鏡：5x，10x，20x，50x，100x
耦合鏡：0.5x
手動(dòng)載物臺(tái)：100mm x 100mm XY驅(qū)動(dòng)范圍
Z軸：30mm縱向驅(qū)動(dòng)范圍
數(shù)碼相機(jī)：1024x768像素，1/3英寸CCD
計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)
CPU：英特爾®酷睿2雙核處理器
內(nèi)存：3GB
硬盤：320GB
顯示器：22英寸寬屏LCD（1680x1050像素）
