| 品牌 | 鑫瑞 | 型號 | SK5530A |
u 重合:&plun;2μm
u X Y線性:&plun;(3+L/100)μm
u Z線性:&plun;(2.5+L/100)μm
u 驗證:200mm-1mm-1μm光學(xué)尺校正(現(xiàn)場實測)
u 測量范圍:300*200*100mm
u 位移解析:0.4μm
u 位移驅(qū)動:0.1μm
u 放大倍率:35-225X
u 光學(xué)成像:CCD優(yōu)質(zhì)成像方式(技術(shù))
u 運動控制:伺服控制模式(技術(shù))
u 用戶文件:《儀器校準(zhǔn)證書》
u 取邊速度:3ms/per
u 平臺尺寸:612×413mm






