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PulseMaster-840系列 |
型號 |
工作氣體 | |||
|
|
|
ArF |
KrF |
XeCl |
XeF |
|
波長(nm) |
|
193 |
248 |
308 |
351 |
|
脈沖能量(mJ) |
PM-848/846/844/842 |
230 |
450 |
300 |
275 |
|
平均功率(W) |
PM-848 |
30 |
80 |
50 |
45 |
|
PM-846 |
15 |
40 |
25 |
22 | |
|
PM-844 |
6 |
20 |
12 |
11 | |
|
PM-842 |
3 |
10 |
6 |
6 | |
|
重復(fù)頻率(Hz) |
PM-848 |
200 |
200 |
200 |
200 |
|
PM-846 |
100 |
100 |
100 |
100 | |
|
PM-844 |
50 |
50 |
50 |
50 | |
|
PM-842 |
25 |
25 |
25 |
25 | |
|
脈沖寬度(ns) |
|
12-20 | |||
|
光斑大小(mm) |
|
8-12×26 | |||
|
發(fā)散角(mrad) |
|
1×3 | |||
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