| 型號 | 6517A | 類型 | 微電流計/高阻表 |
電流測量范圍100aA-20mA
電壓測量范圍10μV-200V
電阻測量可達1017Ω
電荷測量范圍10fC-2μC
簡易的類似DMM 的操作界面
小電流量程輸入壓降<20μV
200TΩ 輸入阻
<2fA 偏置電流
噪聲0.75fA p-p
內(nèi)置&plun; 1kV 電源
6517A 型靜電計/高阻表了高，高分辨率和豐富的功能，使測量高阻和緣材料電阻率變得簡單。它具有125讀數(shù)/秒的讀數(shù)率，比同類型的靜電計快很多。在小量程上，6517A 型的電流輸入放大器具有偏置電流<2fA，噪聲0.75fAp-p 和<20μV輸入壓降。電壓和電阻測量輸入阻是200TΩ，接近理想電路的負載。這些指標使 6517A 能夠滿足低電流，高源內(nèi)阻電壓、電阻和電荷測量對靈敏度和準確度的要求。內(nèi)置的 &plun; 1kV 電壓源，具有掃描的功能，簡化了漏電、擊穿和電阻測試，以及緣材料的體電阻（Ω - cm）和表面電阻率（Ω/square）的測量。
6517A有幾個特性可以高阻測量的準確性。例如：內(nèi)置電壓源可簡化判定緣電阻和所加電壓之間的關系。適用于電容漏電，緣電阻、印刷電路板的表面緣電阻，電阻器的電壓系數(shù)和二管漏電參數(shù)等測試。內(nèi)置測試序列，采用反轉(zhuǎn)電壓性法，用于高電阻測量，適用于具有本底電流的材料和樣品的測 試。
