Kosaka系列接觸式臺階儀采用電感位移傳感器作為敏感元件，具有再現(xiàn)性與線性度、高解析度、低測定力、超高真直度等顯著優(yōu)點。廣泛用于機械、材料、化學、光電和半導(dǎo)體的研究和生產(chǎn)領(lǐng)域。

     大連瑞聞科技有限公司是日本Kosaka臺階儀的代理商，為您提供Kosaka各種型號接觸式臺階儀。下面以普通型ET200型加以說明。

    ET200是一款性價比很高的接觸式臺階儀，主要性能指標如下：

1、測定工件要求

尺寸：Ф160mm

厚度：50mm

重量：2kg

2、檢測器                                               

（1）Z方向測定范圍：Max. 600μm

（2）Z方向分解能力：0.1nm

（3）測定力：min.1mgf,max.50mgf

(4)觸針半徑：2μm

（5）驅(qū)動方式：直動式

（6）再現(xiàn)性：1σ= 1nm

3、X軸(基準軸)

（1）移動量(大測長)：100mm

（2）移動的真直度：0.2μm/100mm

（3）移動、測定速度：0.02 ~ 10mm/s

（4）線性度：分解能力0.1μm

4、Z軸                                                                  

（1）移動量：50mm

（2）移動速度：max.2mm/S

（3）檢測器自動停止功能

（4）分解能力：0.2μm

5、工件臺

（1）工件臺尺寸：Ф160mm

（2）機械手動傾斜量：±1mm/150mm

6、工件觀察：max.110倍(可選購其它高倍率CCD)

7、床臺：材質(zhì)為花崗巖石

8、防振臺(選購)：落地型或桌上型

9、電源：AC100V±10%，50/60HZ, 300VA

10、外觀尺寸及重量：W494×D458×H610mm, 120kg(不含防振臺)