Kosaka ET4000探針式輪廓儀
ET4000具有高性、穩(wěn)定性和重復(fù)性，可測量FPD、晶片、磁盤，和與納米材料相關(guān)物件的表面特性、臺階高度和粗糙度等。堅固的花崗巖材料鑄成的機身框架以及支撐部件顯著了儀器的重復(fù)，并降低了地板噪音對測量的干擾。ET4000為滿足用戶不同應(yīng)用方向的需要提供了多種可選配置，通過選配三維成像附件套裝還可以大地擴充儀器的功能。 主要特點：1. 具有的臺階高度重復(fù)性5? (1σ)和線性度（垂直線性度：200nm以上為±0.25%；200nm以下為0.5nm）；2. 高分辨率，縱軸分辨率為0.1nm，橫軸為0.01μm，可測量納米級至幾百臺階高度；3. 直線度： 0.005μm/5mm，可測定微細(xì)表面形狀、段差、平面度、粗度、應(yīng)力分析等；4. 低測定力：采用直動力LVDT檢出器，觸針力在0.5μN～500μN范圍可以任意調(diào)節(jié)，可測定軟質(zhì)材料； 
5. 即時監(jiān)控系統(tǒng)：配置標(biāo)準(zhǔn)CCD，可即時監(jiān)控量測位置；還可選購Top View CCD，進行高定位量測； 
6. 可擴充成三次元設(shè)備和追加三次元解析軟件，觀察樣品全貌和測定臺階移動量； 
7. 采用天然金剛石(R2μm)作為探頭，經(jīng)久耐用； 產(chǎn)品參數(shù)：
型號 | ET | ET | ET | |
樣品尺寸 | 300x | 210x | 300x | |
樣品臺 | 尺寸 | 320x | 220x | 540x |
X軸傾斜度 | ±1mm/150mm(機動傾斜） | |||
Y軸傾斜度 | —— | ±1mm/150mm(機動傾斜） | ||
承重 | ||||
檢出器 | 力 | 0.5μN-500μN（0.05mgf-50mgf）可調(diào)節(jié) | ||
范圍 | 100μm | |||
驅(qū)動 | LVDT直動式（差動變壓器） | |||
觸針 | ET-1479(R2μm) | ET-1479(R2μm),ET-1480(R0.5μm) | ||
X軸 | 測長 | |||
直線度 | 0.005μm/ | |||
速度 | 0.005 | |||
重復(fù)性 | ±5μm（定位） | |||
Y軸 | 測長 | —— | ||
直線度 | —— | 5μm/ | ||
重復(fù)性 | —— | ±5μm（定位） | ||
Z軸 | 測長 | |||
放大倍數(shù) | 垂直 | |||
水平 | 1-10000 | |||
3D | —— | 可選擇 | ||
θ軸 | —— | 可選擇 | ||
輔助功能 | 教學(xué)、機動傾斜、傾斜度分析、檢出器自動停止功能等 | |||
監(jiān)控系統(tǒng) | 攝像裝置 | 1/2 inch CCD (768x494像素） | ||
裝置 | 視頻捕捉板 | |||
應(yīng)用 | 成像、臺階、粗糙度、波紋度和傾斜度 | |||
重復(fù)性 | 1σ0.5nm | |||
電源 | AC100V 800VA | |||
外觀尺寸 | W660xD580xH | W930xD930xH | ||
