由于薄膜的特殊性，一般的激光傳感器不能檢測(cè)他的厚度。目前國際上通用的薄膜厚度檢測(cè)方法是用單極性ZCS1100或雙極性ZNXsensor電容式位移傳感器組成薄膜厚度測(cè)量?jī)x。兩個(gè)傳感器的板形成一個(gè)平行板電容器，每個(gè)傳感器可用在兩個(gè)不同的測(cè)量范圍；具有納米級(jí)分辨率，且不受電磁感應(yīng)導(dǎo)致的信號(hào)滯后影響（零磁滯）。

薄膜厚度測(cè)量?jī)x主要應(yīng)用領(lǐng)域：壓電微位移、薄膜厚度檢測(cè)、振動(dòng)臺(tái)，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測(cè)量等。
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主要技術(shù)指標(biāo)：
量程：20~1250um；
分辨率<0.1nm；零磁滯；
線性度0.02%；
頻帶可調(diào)范圍：50~5000Hz；
靈敏度可調(diào)；
真空兼容選項(xiàng)。

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