品名  激光功能帶紅外觀察 光學(xué)顯微鏡
型號(hào)  SOM3355-IR 
概要  是半導(dǎo)體的失效點(diǎn)定位，提高半導(dǎo)體生產(chǎn)的良率的有效手段之一。它運(yùn)用了紅外線的技術(shù)，從晶圓的背面進(jìn)行失效點(diǎn)的觀察并運(yùn)用激光對(duì)觀察到的失效點(diǎn)進(jìn)行定位，從而大大的縮短了用FIB對(duì)失效點(diǎn)進(jìn)行定位的時(shí)間。 
特長(zhǎng) 
1. 紅外/可視觀察對(duì)應(yīng)(顯示倍率3200倍/17型液晶顯示器上)。 
2. 激光標(biāo)識(shí)功能(波長(zhǎng)　532nm/355nm)。
3. 搭載了300mm片對(duì)應(yīng)樣品臺(tái)(X,Y,R)。與SMI系列共通的樣品托架。 
4. 對(duì)去除聚酰亞胺膜也有効。 
5. 通過(guò)選配的聯(lián)動(dòng)軟件，讀取從缺陷檢查儀器的位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)，對(duì)異物的對(duì)象也能夠?qū)Ш健?nbsp;
6. 通過(guò)選配的CAD導(dǎo)航連鎖軟件，與CAD的布局信息聯(lián)動(dòng)。與坐標(biāo)調(diào)整聯(lián)動(dòng)，工作臺(tái)向布局顯示位置移動(dòng)。

產(chǎn)品規(guī)格  
激光532nm/355nm
接物鏡5x/20x/50x/100x/50x(355nm用)
樣品臺(tái)  300mm片對(duì)應(yīng)(X,Y,R),與SMI的共通的樣品托架
與SMI系列的聯(lián)動(dòng)功能:50mm/200mm/300mm對(duì)應(yīng)
自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng):紅外觀察對(duì)應(yīng)數(shù)碼CCD攝像頭
標(biāo)準(zhǔn)選配
• 缺陷檢查儀器聯(lián)動(dòng)功能
• CAD導(dǎo)航功能