光滑表面缺陷自動(dòng)化檢測系統(tǒng)圖1 光滑表面缺陷的自動(dòng)化檢測系統(tǒng)外型圖（配百級(jí)超凈工作臺(tái)） 簡介： 光滑表面缺陷的自動(dòng)化檢測系統(tǒng)是利用光學(xué)顯微散射暗場成像技術(shù)與先進(jìn)的基于數(shù)學(xué)形態(tài)學(xué)的數(shù)字圖像處理算法結(jié)合研制的新穎非接觸的檢測設(shè)備。系統(tǒng)具有環(huán)形分布的光源可以采集任意方向疵病的CCD圖像；利用光學(xué)顯微散射暗場成像可以達(dá)到對(duì)被測缺陷實(shí)現(xiàn)微米量級(jí)的分辨率；精密的二維掃描系統(tǒng)與數(shù)字圖像處理算法結(jié)合可以實(shí)現(xiàn)對(duì)大口徑表面缺陷完成子孔徑掃描和拼接；采用二元光學(xué)的標(biāo)準(zhǔn)板定標(biāo)程序及可以實(shí)現(xiàn)對(duì)缺陷如劃痕幾何尺寸的定量檢測并確定光滑表面上每個(gè)缺陷的幾何參數(shù)的方位，終自動(dòng)輸出缺陷檢測。該系統(tǒng)是浙江大學(xué)光電系現(xiàn)代光學(xué)儀器重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室楊甬英等教授集多年基礎(chǔ)、數(shù)年攻關(guān)完成的目前國內(nèi)首臺(tái)可以對(duì)各種光滑的光學(xué)元件和金屬表面的各種劃痕、麻點(diǎn)、碎邊等疵病實(shí)現(xiàn)高分辨率、快速、數(shù)字化定量檢測的先進(jìn)的高科技設(shè)備，可有效解決人為的目視觀察評(píng)估由于主觀因素介入導(dǎo)致檢測的準(zhǔn)確度低，效率低的難題。系統(tǒng)可以應(yīng)用于高的光學(xué)元件、激光器諧振腔、微光元件、光滑的金屬及硅片表面、手機(jī)外殼、微縮文字等各類表面缺陷的檢測和文字校驗(yàn)。   儀器技術(shù)指標(biāo)：1. 被檢缺陷樣品的檢測口徑：50mm×50mm～100mm×100mm，更大口徑可由用戶提出研制；2. 缺陷檢測分辨率：小可達(dá)微米量級(jí)；3. 檢測的缺陷幾何特征：各種劃痕、麻點(diǎn)、破邊等、文字缺損校驗(yàn)；4. 照明及成像系統(tǒng)：環(huán)形均勻光源照明系統(tǒng)、0.7×～4.5×變倍顯微鏡成像系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)顯微散射暗場成像；5. 檢測方法：計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制二維移導(dǎo)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)光滑表面的子孔徑掃描；6. 標(biāo)準(zhǔn)評(píng)價(jià)：利用二元光學(xué)制作標(biāo)準(zhǔn)比對(duì)板定量評(píng)估；7. 儀器檢測：幾何長度相對(duì)誤差優(yōu)于2%、劃痕寬度誤差控制在微米量級(jí)；8. 數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)：科學(xué)級(jí)CCD相機(jī)，空間分辨率約1K×1K左右或更高。9. 自動(dòng)化評(píng)估軟件要求：全口徑子孔徑掃描控制、圖像匹配拼接、圖像數(shù)據(jù)處理軟件；二元光學(xué)制作標(biāo)準(zhǔn)比對(duì)板數(shù)據(jù)庫及評(píng)估系統(tǒng)；全口徑表面缺陷分布及類型的數(shù)據(jù)輸出；微縮文字缺損校驗(yàn)評(píng)估；軟件具有友好的人機(jī)交互圖形工作界面，工作于Windows2000以上平臺(tái)。 應(yīng)用范圍： 本系統(tǒng)可應(yīng)用于高科技的光學(xué)、材料、微電子等國民經(jīng)濟(jì)諸多領(lǐng)域：1. 系統(tǒng)可以應(yīng)用于高的光學(xué)元件、激光器諧振腔、微光元件等光滑的光學(xué)元件表面的任意方向缺陷如各種劃痕、麻點(diǎn)、碎邊進(jìn)行非接觸的數(shù)字化定量檢測，并實(shí)時(shí)輸出檢測。2. 系統(tǒng)可以對(duì)光滑的金屬及硅片表面的疵病進(jìn)行非接觸的數(shù)字化定量檢測，并實(shí)時(shí)輸出檢測。3. 系統(tǒng)可以對(duì)光滑的手機(jī)外殼、高的液晶屏進(jìn)行表面的劃痕、麻點(diǎn)實(shí)現(xiàn)數(shù)字化定量檢測。4. 對(duì)各種精密的具有微縮文字的光滑表面實(shí)現(xiàn)文字的缺損檢測。 圖2是對(duì)一光滑的光學(xué)元件表面缺陷進(jìn)行圖像預(yù)處理后的軟件界面。圖3是自動(dòng)化顯示該元件表面缺陷位置及對(duì)缺陷信息編號(hào)的界面。圖4 是自動(dòng)化輸出缺陷（劃痕）信息的界面。 圖2 光滑表面缺陷圖像預(yù)處理后的軟件界面   圖3 自動(dòng)化顯示缺陷位置及對(duì)缺陷信息編號(hào)的界面  圖4 自動(dòng)化輸出缺陷（劃痕）信息 如果您需要了解更多信息，請(qǐng)聯(lián)系我們。 以上是光滑表面缺陷的自動(dòng)化檢測系統(tǒng)的詳細(xì)信息，如果您對(duì)光滑表面缺陷的自動(dòng)化檢測系統(tǒng)的價(jià)格、廠家、型號(hào)、圖片有什么疑問，請(qǐng)聯(lián)系我們獲取光滑表面缺陷的自動(dòng)化檢測系統(tǒng)的新信息。