VARIAN公司是世界上能夠提供離子泵的公司之一,可滿足客戶對(duì)和高真空的要求,用戶可從根據(jù)自己的功率、工作壓強(qiáng)、待抽氣體成分以及系統(tǒng)中真空獲得設(shè)備的啟動(dòng)壓強(qiáng)等的要求,來選擇泵、電源、配件及附件,進(jìn)而獲得的真空解決方案。
VARIAN離子泵主要具有以下特點(diǎn):(1) 系列產(chǎn)品由多種離子泵、電源、選配件及附件組成,能夠?yàn)檎婵諔?yīng)用提供的解決方案,限壓強(qiáng)可達(dá)10-11mbar,清潔、無油、無噪聲(2)Varian離子泵能真空系統(tǒng)對(duì)工作壓強(qiáng)、待抽氣體的組成成分以及系統(tǒng)中真空獲得設(shè)備的啟動(dòng)壓強(qiáng)等的要求。(3)Varian離子泵 系列產(chǎn)品包括 Diode(二型)、Noble Diode(惰性二型)以及StarCell(的三型)三種不同類型的離子泵,同時(shí)還提供包括Mimi Vac、Dual 和 Midi Vac 三種離子泵電源,用戶可從中選擇所需功率要求和接口標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品。 
VARIAN離子泵主要應(yīng)用領(lǐng)域包括:
電子掃描顯微鏡
物理
質(zhì)譜分析
半導(dǎo)體
真空電子管
| 離子泵 | |||||||
| 離子泵型號(hào) | Vaclon plus 20 | Vaclon plus 40 | Vaclon plus 55 | Vaclon plus 75 | Vaclon plus 150 | Vaclon plus 300 | Vaclon plus 500 |
| 進(jìn)氣口 | CF35 | CF35 | CF63 | CF100 | CF100 | CF150 | CF150 |
| 類型 | StarCell | StarCell | StarCell | StarCell | StarCell | StarCell | StarCell |
| 抽速l/s(N2) | 20 | 34 | 50 | 65 | 125 | 240 | 410 |
| 壽命 hour | 80000 | 80000 | 80000 | 80000 | 80000 | 80000 | 80000 |
| 啟動(dòng)壓強(qiáng) mbar | < 10 -2 | < 10 -2 | < 10 -2 | < 10 -2 | < 10 -2 | < 10 -2 | < 10 -2 |
| 烘烤溫度℃ | < 350 | < 350 | < 350 | < 350 | < 350 | < 350 | < 350 |








