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| 功能特點 | |
| 多角度激光橢偏儀 SE400advanced使用632.8nm波長HeNe激光器，對測量薄膜厚度，折射率和吸收系數(shù)有非常出色的。 SE400advanced能夠分析單層膜，多層膜和大塊材料（基底） ■ 超高和穩(wěn)定性，來源于高穩(wěn)定激光光源、溫度穩(wěn)定補償器設置、起偏器跟蹤和超低噪聲探測器 ■ 高樣品校準，使用光學自動對準鏡和顯微鏡 ■ 快速簡易測量，可選擇不同的應用模型和入射角度 ■多角度測量，可完全支持復雜應用和厚度 ■全面的預設應用，包含微電子、光電、磁存儲、生命科學等領域 | |
| 技術指標 | |
| ■ 激光波長632.8 nm ■ 150 mm (z-tilt) 載物臺 ■ 入射角度可調(diào)，步進5o ■ 自動對準鏡/顯微鏡，用于樣品校準 ■ Small footprint ■ 以太網(wǎng)接口連接到PC | |
| 選項 | |
| ■ 微細光斑選項，光斑直徑30微米 ■ 手動x-y方向移動載物臺，行程150 mm ■ 攝象頭選項，用于取代目鏡進行樣品對準 ■ 液體膜測量單元 ■ 反射式膜厚儀FTPadvanced，光斑直徑80微米 ■ 雙波長激光 (405 nm 或1550 nm) ■ SIMULATION軟件 | |
| 軟件特征 | |
| ■ 預先定義應用 ■ 多角度測量 ■ 廣泛的材料數(shù)據(jù)庫 ■ 擬合狀況的圖形反饋 ■ 支持多種語言 | |
