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| 功能特點(diǎn) | |
| 多角度激光橢偏儀 SE400advanced使用632.8nm波長(zhǎng)HeNe激光器，對(duì)測(cè)量薄膜厚度，折射率和吸收系數(shù)有非常出色的。 SE400advanced能夠分析單層膜，多層膜和大塊材料（基底） ■ 超高和穩(wěn)定性，來(lái)源于高穩(wěn)定激光光源、溫度穩(wěn)定補(bǔ)償器設(shè)置、起偏器跟蹤和超低噪聲探測(cè)器 ■ 高樣品校準(zhǔn)，使用光學(xué)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)鏡和顯微鏡 ■ 快速簡(jiǎn)易測(cè)量，可選擇不同的應(yīng)用模型和入射角度 ■多角度測(cè)量，可完全支持復(fù)雜應(yīng)用和厚度 ■全面的預(yù)設(shè)應(yīng)用，包含微電子、光電、磁存儲(chǔ)、生命科學(xué)等領(lǐng)域 | |
| 技術(shù)指標(biāo) | |
| ■ 激光波長(zhǎng)632.8 nm ■ 150 mm (z-tilt) 載物臺(tái) ■ 入射角度可調(diào)，步進(jìn)5o ■ 自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)鏡/顯微鏡，用于樣品校準(zhǔn) ■ Small footprint ■ 以太網(wǎng)接口連接到PC | |
| 選項(xiàng) | |
| ■ 微細(xì)光斑選項(xiàng)，光斑直徑30微米 ■ 手動(dòng)x-y方向移動(dòng)載物臺(tái)，行程150 mm ■ 攝象頭選項(xiàng)，用于取代目鏡進(jìn)行樣品對(duì)準(zhǔn) ■ 液體膜測(cè)量單元 ■ 反射式膜厚儀FTPadvanced，光斑直徑80微米 ■ 雙波長(zhǎng)激光 (405 nm 或1550 nm) ■ SIMULATION軟件 | |
| 軟件特征 | |
| ■ 預(yù)先定義應(yīng)用 ■ 多角度測(cè)量 ■ 廣泛的材料數(shù)據(jù)庫(kù) ■ 擬合狀況的圖形反饋 ■ 支持多種語(yǔ)言 | |
