- 產(chǎn)品品牌:
- 羲和
- 產(chǎn)品型號:
- 測厚儀
藍(lán)寶石非接觸測厚儀
非接觸厚度測試系統(tǒng)。不受樣本是否導(dǎo)電影響,適用于所有可讓紅外線通過的材料:藍(lán)寶石、碳化硅,可以在襯底有膠膜、夾具及在上爉固定后的情況下測量。
■ 手動,半自動以及全自動解決方案。
■ 系統(tǒng)的Mapping功能可測量整片襯底
| √襯底厚度 | √厚度變化 (TTV) |
| √ 粗糙度 | √ 翹曲度(Warp/ Bow) |
| √ Bow | √ TSV |
| √ 通孔深度 | √ 側(cè)壁角度 |








