特點(diǎn)：
?價(jià)格低
?易操作
?磁控濺射頭
?緊湊設(shè)計(jì)
?快速循環(huán)時(shí)間（典型為2-3分鐘）
?可選碳絲蒸鍍
?樣品臺(tái)高度可調(diào)
?快速換靶（標(biāo)配為金/鈀合金）
?合新的標(biāo)準(zhǔn)：包括機(jī)電互鎖，以使用鍍碳附件時(shí)濺射頭斷電
?耐用
SC7620適合預(yù)算有限、需要高質(zhì)量鍍膜、儀器易操作的用戶。對(duì)于常規(guī)應(yīng)用, SC7620具有φ100㎜(4″)的玻璃腔室，使用磁控濺射頭，帶有易更換的圓片靶（標(biāo)配為金/鈀合金）。濺射頭為方便的鉸鏈?zhǔn)?，并具有電互鎖裝置。高壓電纜帶有屏蔽功能，以意外損壞。通過(guò)氬氣針閥調(diào)整真空度，以改變等離子電流；氣體注入系統(tǒng)可預(yù)設(shè)等離子放電。
備：推薦使用50 l/m 雙級(jí)旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵（E5005F），隨機(jī)配有油霧過(guò)濾器。如果想使用已有的旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵，它的容量為50 l/m 或更優(yōu)是重要的。