PlasCalc系列等離子體監(jiān)控器

   測(cè)量用等離子體的發(fā)射可在僅3毫秒內(nèi)達(dá)到200～1100nm的波長(zhǎng)。PlasCals系列監(jiān)控器為數(shù)據(jù)的獲取提供過程控制和精密的數(shù)據(jù)運(yùn)算。

功能特點(diǎn)

1.0nm（半值全波）光學(xué)解析度
200～1100nm波長(zhǎng)范圍
快速建立和保存實(shí)驗(yàn)方法
調(diào)制步驟編輯

調(diào)制步驟編輯工具可以使用戶簡(jiǎn)單、快速地設(shè)置、建立和保存實(shí)驗(yàn)方法。利用該工具可以對(duì)多數(shù)復(fù)雜的等離子體過程建立簡(jiǎn)便而有效的步驟設(shè)置：例如測(cè)量薄膜沉積情況、監(jiān)測(cè)等離子蝕刻、檢查表面清潔處理、分析等離子室健康控制情況、監(jiān)測(cè)反常的污染和排放現(xiàn)象等。

用于簡(jiǎn)單的等離子體診斷的多重工具

PlasCalc型監(jiān)控器配有操作軟件，所提供的完整的公式編輯器可以進(jìn)行所有需要的數(shù)學(xué)和算法功能。我們同時(shí)提供一個(gè)可選配的放射波長(zhǎng)數(shù)據(jù)庫，可以另外單獨(dú)購買，它能夠提供種類的鑒定；而波長(zhǎng)編輯器則使用戶完成信噪比的優(yōu)化。操作界面包含兩個(gè)窗口，可以同時(shí)顯示真實(shí)的光譜和所有控制過程信息。

PlasCalc型監(jiān)控器的規(guī)格

光譜范圍
 200～1100nm
 
光學(xué)解析度
 1.0nm（半值全波）
 
數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換器
 14 bit
 
數(shù)字輸入/輸出
 8 x TTL
 
模擬輸出
 4 x [0-10V]
 
連接方式
 USB 1.1

USB 1.1
 
電力消耗
 12V直流電，1.25A
 
電力需求
 90～240V交流電，50/60Hz
 
尺寸
 257 mm x 152 mm x 263 mm
 
重量
 5 kg