- 產(chǎn)品品牌：
- Filmetrics
- 產(chǎn)品型號(hào)：
- F30
- 測量范圍：
- 15nm-250μm
薄膜測量領(lǐng)域的#1品牌
F30 監(jiān)控薄膜沉積速率的強(qiáng)大工具
F30可以對(duì)薄膜的沉積率、膜厚、光學(xué)常數(shù)（n和k值），半導(dǎo)體和電介質(zhì)的均勻性進(jìn)行實(shí)習(xí)的檢測。
可測樣品膜層：
在MBE(分子束外延)和MOCVD(金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相淀積)技術(shù)中，F(xiàn)30對(duì)光滑的，半透明的或輕度吸光的膜層都可能實(shí)現(xiàn)測量。這實(shí)際上包括了從AIGaN(氮化鎵鋁)到GaInAsP(鎵銦磷砷)的所有半導(dǎo)體材料。
優(yōu)勢：
安裝簡便—幾分鐘即可完成系統(tǒng)安裝
非侵入式測量—測量完全在晶體沉積腔外
速度快—僅需幾秒鐘即可完成測量高—誤差低于+/-1%
低成本—幾個(gè)月即可收回成本
使用方便—極大的提高了生產(chǎn)速度
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