表面清潔度分析儀Automatic Flat Panel Cleanness Analyzer / Water Drop Angle Meter Model LCD1000A/LCD1000M
LCD系列表面清潔分析儀為美國科諾研制的行業(yè)性分析儀器,可在分析測試水滴在液晶屏、晶圓(Wafer)、芯片或PCB板表面的形成的角度值的基礎上,進而分析Plasma效果,是一種基于界面化學分析系統(tǒng)的表面清潔度測試系統(tǒng)。 本系列表面清潔度分析儀由儀器主機和CAST?2.0水滴角分析軟件兩個部分組成。根據樣品臺移動方式不同,我們將儀器主機分為自動(LCD1000A)、手動(LCD1000M)兩種。樣品臺尺寸及其控制行程可根據客戶要求定制。我們?yōu)閺V大客戶提供性能,價格合理的儀器以及化的表面清潔度分析儀產品,期盼為客戶的研發(fā)與品質控制提供的服務保證。
一、產品優(yōu)勢: 1、人性化的設計,操作簡單; →選購自動注射泵,可完成自動進液控制,可達0.02uL →自動修正鏡頭傾斜角度以及水平線傾斜角度 →按測試,軟件自動完成拍照、分析敏感點、計算角度值 2、全區(qū)域測試,可支持各種規(guī)格面板 →480*480(LCD-400S) →750*750(LCD-700S) →900*700(LCD900S) →1400*1400(FPD) 3、數據庫管理技術 →歷史數據可查詢 →可導出為EXCEL文檔及BMP圖片 →可錄相AVI格式,供制作PPT所用 4、CAST2.0具有多項技術 →多達6種以上接觸角計算辦法 →多達12種固體表面自由能估算模型 →支持曲面校準技術 →支持粘附功計算、WBA分析等
二、功能實現: 1、測試前: (1)通過調整進樣器前后、左右、上下移動(XYZ)及鏡頭俯仰角度和升降(Z向),實現調整焦距的目的。 (2)通過控制導軌前后、左右移動(XY),將注射泵移動至角落后,以方便裝樣。 2、測試過程中: (1)通過導軌前后、左右方向(XY)的移動控制,實現樣品上不同點的水滴角度值的測試; (2)通過移動進樣器升降移動(Z向),完成液滴移液過程(將水液滴轉移到液晶屏上); (3)通過進樣器注出液滴,進行角度分析,可達0.02uL。 3、測試實現方法: (1)通過相機捕捉液滴在液晶屏上的圖片后,分析敏感點,計算得出角度值; (2)計算辦法:θ/2法(WH法)或圓擬合法; (3)軟件對鏡頭的俯視角度進行適當的修正,以期實現更的測量。
三、技術參數:軟件分析基于CAST2.0分析系統(tǒng) | LCD1000A | LCD1000M | 相關型號主題詞 | 全自動型 | 手動型 | 主機 | 主機 | 概述 | 自動控制樣品臺 | 手動控制樣品臺 | 鏡頭水平X移動 | 自動:600mm 或更大行程 :0.01mm | 手動:600mm或更大行程 :0.1mm 帶手柄 | 鏡頭水平Y移動 | 自動:600mm或更大行程 :0.01mm | 手動:600mm或更大行程 :0.1mm帶手柄 | 鏡頭上下Z1移動 | 自動:25mm :0.01mm | 手動:25mm :0.01mm | 鏡頭傾斜調整 | 手動 | 手動 | 樣品臺水平 | 手動 微調 | 手動 微調 | 進樣器控制XY | 手動 12.5mm 0.01mm | 手動 12.5mm 0.01mm | 進樣器控制Z | 自動 25mm 0.01mm | 手動 25mm 0.01mm | 整機升降控制Z2 | 自動 25mm 0.01mm | 手動 25mm 0.01mm | 水平調整 | 手動微調控制樣品臺水平 | 樣品臺 | 600*600mm 或更大 | 進樣器 | 自動進樣注射泵 | 手動進樣注射泵 | 進樣器焦距調整:手動 | 光學CCD成像系統(tǒng) | USB口視頻捕捉設備 25幀/秒工業(yè)黑白CCD相機 10-50倍連續(xù)放大工業(yè)鏡頭 | 光學系統(tǒng)調整 | 一維水平角度調整機構 | 光源系統(tǒng) | 可調亮度單色冷光LED光源,水滴角圖像邊緣更清晰 | 通訊接口 | 主機控制及視頻系統(tǒng)控制均采用USB2.0通訊接口,兼容性更好、速度更快 | 軟件 系統(tǒng) | 水滴角計算方式 | 全自動計算 按“測試”,軟件自動完成拍照、分析敏感點、計算水滴角值三個動作 | 水滴角計算辦法 | 共6種:提供θ/2法、真實液滴法、圓擬合法、橢圓擬合法、曲線尺法,全面適用于分析動/靜態(tài)水滴角值 | 液滴形態(tài) | 5種分析液滴形態(tài):停滴(2、3態(tài))、懸滴、氣泡虜獲法以及插板法,多種液滴形態(tài)均可適用 | 隨時間變化水滴角測試 | 25幀/秒隨時間變化水滴角測試,提供軟件觸發(fā)技術 | 動態(tài)水滴角分析 | 前進角/后退角分析 | 表面自由能估算 | 提供如Equation of State ( Neumann et al. )、Good-Girifalco、Owen-Wendt-Rabel、Simple Fowkes、Extended Fowkes、WU法1-2、Schultz法1-2、Acid-base(Van OSS & Good)、Jhu、Zizman臨界表面張力法等共12種表面自由能估算方法,不但能分析低能固體表面,也能分析高能固體表面,以及他們的分布(色散力、極性力、氫鍵值、路易斯酸堿等)。 | 粘附功計算 | 軟件自動分析 | ü 自動曲面修正:上凸曲面、下凹曲面、表面粗糙度修正; | ü 自動水滴角值計算(θ/2 法)和人工計算水滴角值法切換 | ü 左右水滴角值計算與比較,平均水滴角計算 | ü 水平及俯仰角度,任意角度值修正功能 | ü 自動生成曲線圖 | ü 強大的數據庫管理功能:備份、壓縮、導出EXCEL表格 | ü 自動液滴量估算 |
美國科諾工業(yè)有限公司特別聲明: 1、以上圖片資料以及技術參數因設計而進行的更改,不再另行通知,以新確認的產品資料為準?! ?span lang="EN-US"> 2、如需詳細水滴角分析技術的資料和水滴角測試標準,請聯(lián)系我們的技術工程師。 3、詳細報價根據采購方案另行報價。 4、如需要特殊尺寸樣品或特殊需求,我們可定制產品,但需要你支付定金。 5、如上樣本冊文本資料、技術設計方案以及技術指標描述等版權歸本公司所有。任何單位未經本公司許可,不得自行傳播或復制。本公司保留一切權利。 |