金電極晶控片(晶振片)適合大部分的應(yīng)用,它具有低接觸電阻,高化學(xué)溫定性。金電極晶控片(晶振片)適合于低應(yīng)力材料的鍍膜監(jiān)控,如金,銀,銅的膜厚控制。
銀電極有非常低的接觸電阻和優(yōu)良的塑變性。銀電極晶控片(晶振片)適合在熱負(fù)荷高的工藝(如濺射)中提供優(yōu)越的性能。
銀鋁合金晶控片(晶振片),適合高應(yīng)力膜料的鍍膜監(jiān)控,如SiO,SiO2,MgF2,TiO2等。

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