不同元素發(fā)出的特征X射線能量和波長(zhǎng)各不相同，因此通過對(duì)X射線的能量或者波長(zhǎng)的測(cè)量即可知道它是何種元素發(fā)出的，進(jìn)行元素的定性分析。同時(shí)樣品受激發(fā)后發(fā)射某一元素的特征X射線強(qiáng)度跟這元素在樣品中的含量有關(guān)，因此測(cè)出它的強(qiáng)度就能進(jìn)行元素的定量分析。
因此，X射線熒光光譜儀有兩種基本類型：波長(zhǎng)色散型（WDEXRF）和能量色散型（EDXRF）。
用途
為了滿足現(xiàn)代企業(yè)管理和生產(chǎn)要求，必須對(duì)生產(chǎn)過程中的原材料的化學(xué)成分進(jìn)行及時(shí)、準(zhǔn)確的分析和控制，傳統(tǒng)的化學(xué)分析方法已經(jīng)完全不能滿足生產(chǎn)過程的需要；目前眾多新型冶煉企業(yè)為了達(dá)到良好的質(zhì)量控制指標(biāo)，大都配備了相應(yīng)的分析儀。由于化學(xué)分析方法分析速度的限制，實(shí)際上，采用化學(xué)分析方法對(duì)于生產(chǎn)過程來說只有事后監(jiān)測(cè)的意義，而沒有控制意義，往往是當(dāng)我們發(fā)現(xiàn)某個(gè)控制環(huán)節(jié)有問題時(shí)，已經(jīng)造成了嚴(yán)重的后果，給工廠帶來了很大的損失。
工作原理
熒光，顧名思義就是在光的照射下發(fā)出的光。
從原子物理學(xué)的知識(shí)我們知道，對(duì)每一種化學(xué)元素的原子來說，都有其特定的能級(jí)結(jié)構(gòu)，其核外電子都以各自特有的能量在各自的固定軌道上運(yùn)行，內(nèi)層電子在足夠能量的X射線照射下脫離原子的束縛，成為自由電子，我們說原子被激發(fā)了，處于激發(fā)態(tài)，這時(shí)，其他的外層電子便會(huì)填補(bǔ)這一空位，也就是所謂躍遷，同時(shí)以發(fā)出X射線的形式放出能量。由于每一種元素的原子能級(jí)結(jié)構(gòu)都是特定的，它被激發(fā)后躍遷時(shí)放出的X射線的能量也是特定的，稱之為特征X射線。通過測(cè)定特征X射線的能量，便可以確定相應(yīng)元素的存在，而特征X射線的強(qiáng)弱（或者說X射線光子的多少）則代表該元素的含量。
量子力學(xué)知識(shí)告訴我們，X 射線具有波粒二象性，既可以看作粒子，也可以看作電磁波。看作粒子時(shí)的能量和看作電磁波時(shí)的波長(zhǎng)有著一一對(duì)應(yīng)關(guān)系。這就是的普朗克公式：E=hc/λ。顯然，無論是測(cè)定能量，還是波長(zhǎng)，都可以實(shí)現(xiàn)對(duì)相應(yīng)元素的分析，其效果是完全一樣的。
