儀器簡介：
濺射離子泵是一種獲得清潔超高真空的真空獲得設(shè)備，它具有清潔、真空度高、無噪聲、無振動、操作方便等優(yōu)點(diǎn)。離子泵工作是封閉系統(tǒng)，不需要有連續(xù)工作的前級真空系統(tǒng)。
濺射離子泵是無油超高真空機(jī)組的主泵，可應(yīng)用于高能粒子加速器，受控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、電真空器件、半導(dǎo)體材料制備、電子顯微鏡、質(zhì)譜儀等科學(xué)實(shí)驗(yàn)裝置及其它需要超高真空的工業(yè)設(shè)備中。
技術(shù)參數(shù)：
1.型號 2L-100 3L-100
2.入口法蘭 CF150 CF150
3.抽速(升/秒) 氮?dú)?120 110
氬氣 1.2 24
4.啟動壓強(qiáng)(Pa) ≤5×10-4 ≤5×10-4
5.極限壓強(qiáng)(Pa) ≤7×10-8 ≤7×10-8
6.烘烤(℃) 帶磁鐵溫度 200 200
不帶磁鐵 300 300
7.工作電壓(KV) +7 -5
8.抽氣單元(個) 4 4
9.重量(kg) 30 30
10.加熱罩 無 無
主要特點(diǎn)：
1.清潔
2.真空度高
3.無噪聲
4.無振動
5.操作方便
濺射離子泵是一種獲得清潔超高真空的真空獲得設(shè)備，它具有清潔、真空度高、無噪聲、無振動、操作方便等優(yōu)點(diǎn)。離子泵工作是封閉系統(tǒng)，不需要有連續(xù)工作的前級真空系統(tǒng)。
濺射離子泵是無油超高真空機(jī)組的主泵，可應(yīng)用于高能粒子加速器，受控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、電真空器件、半導(dǎo)體材料制備、電子顯微鏡、質(zhì)譜儀等科學(xué)實(shí)驗(yàn)裝置及其它需要超高真空的工業(yè)設(shè)備中。
技術(shù)參數(shù)：
1.型號 2L-100 3L-100
2.入口法蘭 CF150 CF150
3.抽速(升/秒) 氮?dú)?120 110
氬氣 1.2 24
4.啟動壓強(qiáng)(Pa) ≤5×10-4 ≤5×10-4
5.極限壓強(qiáng)(Pa) ≤7×10-8 ≤7×10-8
6.烘烤(℃) 帶磁鐵溫度 200 200
不帶磁鐵 300 300
7.工作電壓(KV) +7 -5
8.抽氣單元(個) 4 4
9.重量(kg) 30 30
10.加熱罩 無 無
主要特點(diǎn)：
1.清潔
2.真空度高
3.無噪聲
4.無振動
5.操作方便
