典型應(yīng)用
微光學(xué)
半導(dǎo)體光刻
TYPICAL APPLICATIONS
Micro-Optics
Semiconductor lithography
Development mask work
威思曼高壓電源HTEM高壓電源主要用于精密電子束應(yīng)用如半導(dǎo)體納米光刻,微光學(xué)。它的超低紋波和穩(wěn)定性使其非常適合使用于這些苛刻的應(yīng)用。固體封裝的高電壓部分消除任何用戶的維修問(wèn)題,全數(shù)字化控制,過(guò)壓、過(guò)流、拉弧保護(hù)。
輸入電壓:
單相220VAC,±10%,50/60HZ
輸出電壓:0-100KV,負(fù)極性。 EXTER應(yīng)受開(kāi)關(guān)可選
到105kV,±500伏特
輸出電流:
0 -10μA,低范圍
0-100μA,高范圍
開(kāi)關(guān)可選
線性調(diào)整率:指定的輸入額定電壓的±0.001%,電壓范圍
負(fù)載調(diào)整率:≤20V為25μA至60μA的電流變化和60μA至25μA
紋波:
≤75mV峰峰值
局部高壓放電:大于200mV以下
穩(wěn)定性:0.001%,每8小時(shí)后,6小時(shí)的戰(zhàn)爭(zhēng)m,,為溫度為20°C±0.2 °C,
溫度系數(shù):
每攝氏度50ppm,超過(guò)10°C至40°C范圍內(nèi)
環(huán)境:
工作溫度:0到40攝氏度
存儲(chǔ)溫度:-40至85攝氏度
濕度:10%到90%RH,非冷凝
冷卻方式:
強(qiáng)制通風(fēng)控制機(jī)箱;
對(duì)流冷卻高壓機(jī)箱