1、2、3 型
超高,適于用作精密檢測(cè)室的主檢測(cè)設(shè)備; 3個(gè)型號(hào)(1、2、3 型)各自有 5 級(jí)放大倍率,可滿足不同視場(chǎng)及倍率要求; 有多種多樣的照明方式可供選擇,以確保模具邊界準(zhǔn)確探測(cè)的需求; 較長(zhǎng)的工作距離(50毫米),可滿足測(cè)量對(duì)工件高度方向的空間需求; 高達(dá)15倍的變焦比,可以滿足低倍大視場(chǎng)觀察搜索和高倍精密測(cè)量?jī)煞矫娴男枨蟆Ec無(wú)級(jí)變焦機(jī)構(gòu)相比,采用5段、定倍自動(dòng)變焦機(jī)構(gòu)可以使測(cè)量更加快速、準(zhǔn)確。 應(yīng)用領(lǐng)域:精密檢測(cè)室的主檢測(cè)設(shè)備,模具及精密機(jī)械零件測(cè)量。
精密掩模板
精密機(jī)械零件
模具
Z120X 型(帶高倍頭)
具有超高的載物臺(tái),與高倍頭配合使用,能夠準(zhǔn)確測(cè)量工件的細(xì)微部位(如精密掩膜及芯片凸點(diǎn)高度等關(guān)鍵尺寸)光學(xué)放大倍數(shù)可達(dá)120X,能夠測(cè)量微距線寬; 高速、高的載物臺(tái)有助于對(duì)較大的物體尺寸,進(jìn)行快速、準(zhǔn)確地測(cè)量; 可以分別測(cè)量刻線的上下寬度; 激光自動(dòng)掃描功能,可以用來(lái)測(cè)量芯片上的微小凸點(diǎn)高度以及錫球截面形狀等; 可以對(duì)激光掃描所得的截面輪廓形狀進(jìn)行評(píng)估。 應(yīng)用領(lǐng)域:各種芯片級(jí)封裝、芯片上的凸點(diǎn)高度、各種精密掩膜板等。
精密掩模板
倒裝芯片上的凸點(diǎn)
芯片凸點(diǎn)形貌色標(biāo)顯示









