硅片研磨設(shè)備特   點(diǎn)：
1．系列研磨機(jī)工件加壓采用氣缸加壓的方式，壓力可調(diào)；
2．系列研磨機(jī)采用PLC程控系統(tǒng)，觸摸屏操作面板，研磨盤(pán)轉(zhuǎn)速與定時(shí)可直接在觸摸屏上輸入。

硅片研磨設(shè)備工作原理：
1.本研磨為精密研磨拋光設(shè)備，被磨、拋材料放于研磨盤(pán)上，研磨盤(pán)逆時(shí)鐘轉(zhuǎn)動(dòng)，修正輪帶動(dòng)工件自轉(zhuǎn)，加壓氣缸對(duì)工件施壓，工件與研磨盤(pán)作相對(duì)運(yùn)轉(zhuǎn)磨擦，來(lái)達(dá)到研磨拋光目的。
2．研磨盤(pán)修整機(jī)構(gòu)采用油壓懸浮導(dǎo)軌前后往復(fù)運(yùn)動(dòng)，金剛石修面刀給研磨盤(pán)的研磨面進(jìn)行精密修整，得到理想的平面效果。

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硅片研磨設(shè)備技術(shù)參數(shù)：
型    號(hào)    LM-24LX-3Q    LM-30LX-3Q    LM-36LX-3Q    LM-48LX-3Q
研磨盤(pán)(外徑×內(nèi)徑)    ￠610mm×￠210mm    ￠760mm×￠260mm    ￠910mm×￠310mm    ￠1220mm×￠400mm
修正輪(外徑×內(nèi)徑)    ￠280mm×￠240mm,3個(gè)    ￠360mm×￠310mm,3個(gè)    ￠410mm×￠360mm,3個(gè)    ￠510mm×￠470mm,3個(gè)
工件加工尺寸    ￠220mm,    ￠290mm    ￠333mm,    ￠430mm,
工件加工平度    0.001 mm（￠220mm,）    0.0015 mm（￠290mm）    0.0015 mm（￠333mm,）    0.002 mm（￠430mm,）
主電機(jī)功率    2.2KW,380V,3相    3.7KW,380V,3相    7.5KW,380V,3相    11KW,380V,3相
研磨盤(pán)轉(zhuǎn)數(shù)    0-80RPM    0-80RPM    0-60RPM    0-40RPM
加壓氣缸數(shù)量    3個(gè)    3個(gè)    3個(gè)    3個(gè)
氣缸加壓    90kg    130kg    200kg    300kg
外形尺寸    1500mm×900mm×2100mm    1500mm×900mm×2100mm    1800mm×1500mm×2200mm    2200mm×2000mm×2300mm
設(shè)備重量    1300kg    1400kg    3000kg     4500kg