供應美國等離子去膠清洗機(美國PE公司)，產(chǎn)品性價比高，操作簡單，

工藝穩(wěn)定性好。針對不同的工藝尺寸，分為三個型號。

型號一： PE50      用于4英寸工藝

Remarks:

n     Vacuum Chamber, Aluminum, Rectangle, 6”*6”*4”

n     Electrode Configuration, Silngle 5”*5” Horizontal

n     RF Generator & Matching Network 125W, 50KHz

n     1~2 Gas channels W/Precision Needle Valve Flow

     Control, 0~25 CC/min

n     Vacuum Gauge, 0~1Torr

n     Vacuum Pump, 5 CFM, Oxyger Service

n     Process Sequence, Single

n            AC Input 120V, 50Hz, 15A

型號二：PE100      用于8英寸工藝

Remarks:

n     Vacuum Chamber, Aluminum, Rectangle, 12”*12”*12”

n     Electrode Configuration, Three 9”*9” Horizontal

n     RF Generator & Matching Network 300W, 13.56MHz

n     1~2 Gas channels W/Precision Needle Valve Flow

     Control, 0~50 CC/min

n     Vacuum Gauge, 0~1Torr

n             Vacuum Pump, 8 CFM, Oxyger Service

型號三：PE200      用于12英寸工藝

Remarks:

n     Vacuum Chamber, Aluminum, Rectangle, 17”*14”*14”

n     Electrode Configuration, Three 13”*13” Horizontal

n     RF Generator & Matching Network 300W, 13.56MHz

n     1~2 Gas channels W/Precision Needle Valve Flow

     Control, 0~200 CC/min

n     Vacuum Gauge, 0~1Torr

n     Vacuum Pump, 29 CFM, Oxyger Service

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