接觸式硅片厚度測量儀Z-SCOPE
1、品名:12寸硅片厚度測試儀
2、用途:測量硅片厚度尺寸
3、工作原理:該儀器由傳感器的側(cè)頭接觸所需測量硅片表面,經(jīng)測量模塊傳輸至IBR顯示器,人工讀取測量值,連接電腦,電腦數(shù)據(jù)讀取,可生成各種表格。
7、技術(shù)參數(shù)
適合硅片:5’,6’ ,8’, 12”
硅片厚度:50-1000um
小分辨率: 0.1um
重復(fù)性:0.2um
系統(tǒng):+/-0.15 um
測量力: 0.7g
收張行程: 5mm
大理石平板: 00級
設(shè)備尺寸:600*600*600mm









