| 儀器型號(hào) | YVM-3020GT |
| 量測(cè)行程 | 300X200X200 |
| X,Y,Z,小顯示值 | 0.0005 |
| 量測(cè) | X,Y,AXIS:3+(L/200)UM |
| 重復(fù) | 3UM |
| 測(cè)量方式 | 影像式 |
| CCD | 日本SONY43萬(wàn)象素彩色高清晰度攝影機(jī) |
| 鏡頭 | 美國(guó)"NITAR"高清晰度0.7-4.5XZOOM變焦鏡頭 |
| 工作距離 | 115MM(影像) |
| 聯(lián)想電腦 | "賽陽(yáng)"4 CPU 160G硬盤(pán) 1G內(nèi)存 17寸液晶顯示器 |
| 測(cè)量軟件 | YR-VT(可實(shí)現(xiàn)Z軸測(cè)量和平面度測(cè)量,并可接測(cè)針) |
| 升降立柱 | 花崗石立柱 |
| 儀器基座 | 000級(jí)高穩(wěn)定性花崗石底座 |
| 照明 | 上光源采用八區(qū)段可調(diào)LED無(wú)影燈,下光源采用LED平行泠光源 |
| 外觀尺寸 | 780X680X1200 |
| 儀器重量 | 200KG |










