測量范圍（XYZ）：300 x 300 x 250 mm
測量系統(tǒng)的尺寸（DWH近似值）：80 x 85 x 80 cm，160 kg
運(yùn)輸包裝尺寸（DWH近似值）：150 x 112 x 115 cm，192 kg
光柵尺分辨率：0.5μm
馬達(dá)驅(qū)動(dòng)：帶有操縱桿控制的DC伺服馬達(dá)（X，Y，Z，變焦）
工作臺：帶有夾具孔和可拆卸式平臺玻璃，并經(jīng)過陽氧化處理，其載重量為30kg。
機(jī)械設(shè)計(jì)：OGP†的"elevating bridge"式設(shè)計(jì)可以在增加XYZ軸方向行程的同時(shí)使得機(jī)械尺寸更為緊湊。
變焦鏡：OGP公司††的12:1 AccuCentric®自動(dòng)校準(zhǔn)變焦鏡，校準(zhǔn)位置可25個(gè)
視頻系統(tǒng)：高分辨率彩色CCD，768 x 494像素陣列。
照明：OGP公司†††的與數(shù)字光圈所匹配的輪廓燈、LED同軸TTL表面燈、以及††††8區(qū)/8環(huán)SmartRing™LED（白光）
影像處理：10:1次像素分辨率，256灰色級
