高測(cè)臺(tái):采用穩(wěn)定的整體式花崗巖制造,測(cè)臺(tái)上配有玻璃工作平臺(tái)
三軸氣浮導(dǎo)軌技術(shù)
三軸金屬光柵,數(shù)顯0.0001mm
高分辨率黑白CCD攝像機(jī)
遠(yuǎn)焦光路LED光源
環(huán)行LED表面光源
三軸CNC伺服電機(jī)控制系統(tǒng)
置控制和測(cè)量計(jì)算機(jī)
正版Windows XP操作系統(tǒng)
高1.5x遠(yuǎn)焦平場(chǎng)物鏡
3D測(cè)量及數(shù)據(jù)處理軟件Saphir基礎(chǔ)功能








