精密的花崗巖機座，包括高度(Z軸)調(diào)整裝置；
高花崗巖測臺，滾針軸承導軌，手動X,Y軸二軸金屬光柵（可擴充為三軸），數(shù)頻0.001mm；
高分辨率CCD B/W攝像機；
遠焦平場光路LED投射光源
環(huán)形LED表面光源，適用于各種放大倍數(shù)的物鏡；
置的控制和測量計算機；
正版Windows XP操作系統(tǒng)；
高1-4×手動變焦物鏡；
圖像處理軟件TOPAS SOFT基本功能；
高1.5×遠焦平場物鏡.
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