特點(diǎn) |
| ·大幅度了驅(qū)動(dòng)速度(X軸;80mm/s,Z2軸:20mm/s),近一步降低了總測(cè)量時(shí)間。 |
| ·為了在時(shí)段內(nèi)維持儀器的直線度規(guī)格，三豐公司采用了具有的耐摩擦性及穩(wěn)定性的高硬度陶瓷導(dǎo)軌。 |
| ·大量的外周設(shè)備選件支持CNC模式，從而可以很容易實(shí)現(xiàn)CNC測(cè)量。 |
| ·驅(qū)動(dòng)裝置(X軸)和立柱(Z2軸)中集成了高線性編碼器(Z2軸為ABS型)，從而了在垂直方向持續(xù)自動(dòng)測(cè)量小孔和不易定位 |
| 工件的重復(fù)。 |
| ·X軸：&plun;(0.8+0.01L)μm,Z1軸：&plun;(0.8+|0.5H|/25)μm,針對(duì)高工件的測(cè)量所設(shè)計(jì)。(*CV-4100S4,H4,W4型:L為驅(qū) |
| 動(dòng)長(zhǎng)度,H為測(cè)量高度(mm)) |
| ·CV-4100系列的驅(qū)動(dòng)裝置集成了激光全息測(cè)微計(jì)檢測(cè)器，在Z軸(垂直方向)的窄/寬測(cè)量范圍內(nèi)，提供卓越的和分辨率。 |
| X軸 |
| 測(cè)量范圍： | 100mm或200mm |
| 分辨率： | 0.05μm |
| 檢測(cè)方法： | 線性編碼器 |
| 驅(qū)動(dòng)速度： | 0-80mm/s外加手動(dòng) |
| 測(cè)量速度： | 0.02-5mm/s |
| 測(cè)量方向： | 向前/向后 |
| 直線度： | 0.8μm/100inch,2μm/200mm;以X軸為水平方向上 |
| 指示(20°C時(shí))： | &plun;(1+0.01L)μm(CV-3100S4,H4,W4) |
| &plun;(0.8+0.01L)μm(CV-4100S4,H4,W4) |
| &plun;(1+0.02L)μm(CV-3100S8,H8,W8) |
| &plun;(0.8+0.02L)μm(CV-4100S4,H8,W8) |
| *L=驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度(mm) |
| 傾斜范圍： | &plun;45° |
| Z1軸(立柱,用于CV-2000) |
| 垂直移動(dòng)： | 300mm或500mm |
| 分辨率： | 1μm |
| 檢測(cè)方法： | ABSOLUTE線性編碼器 |
| 驅(qū)動(dòng)速度： | 0-20mm/s外加手動(dòng) |
| Z1軸(檢測(cè)器) |
| 測(cè)量范圍： | &plun;25mm |
| 分辨率： | 0.2μm(CV-3100),0.05μm(CV-4100) |
| 檢測(cè)方法： | 線性編碼器(CV-3100),激光全息測(cè)微機(jī)(CV-4100) |
| 指示(20°C時(shí))： | &plun;(2+|4H|/100)μm(CV-3100) |
| &plun;(0.8+|0.5H|/25)μm(CV-4100) |
| *H為水平位置上的測(cè)量高度(mm) |
| 測(cè)針上/下運(yùn)作： | 弧形運(yùn)動(dòng) |
| 測(cè)針方向： | 向下 |
| 測(cè)力： | 30mN |
| 跟蹤角度： | 向上:77°,向下:87°(根據(jù)表面粗糙度，使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測(cè)針) |
| 測(cè)針針尖： | 半徑:25μm,硬質(zhì)合金針尖 |
| 基座尺寸(WxH)： | 600x450mm或1000x450mm |
| 基座材料： | 花崗巖 |
| 重量 | 5kg(CV-1000N2),115.8kg(CV-2000M4),124kg(CV-2000S4) |
| 主機(jī)： | 140kg(S4),150kg(H4),220kg(W4),140kg(S8),150kg(H8),220kg(W8) |
| 控制裝置： | 14kg |
| 遙控箱： | 0.9kg |
| 電源： | 100-240VAC&plun;10%,50/60HZ |
| 電源： | 400W(限主機(jī)) |
