測(cè)試功能：

1.   主機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊，采用四坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)，三個(gè)直線坐標(biāo)軸和一個(gè)旋轉(zhuǎn)坐標(biāo)軸。兩個(gè)直線坐標(biāo)采用高封閉式氣浮導(dǎo)軌移動(dòng)，另一個(gè)直線坐標(biāo)采用高密珠結(jié)構(gòu)導(dǎo)軌移動(dòng)。回轉(zhuǎn)主軸采用高氣浮結(jié)構(gòu)，其機(jī)械結(jié)構(gòu)高、壽命長(zhǎng)、免維修等優(yōu)點(diǎn)。

2.   直線運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)采用電機(jī)絲杠驅(qū)動(dòng)。主軸驅(qū)動(dòng)采用了DDR直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)，具有慣性高、低速性能好、快速的動(dòng)態(tài)響應(yīng)能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。

3.   采用測(cè)量光柵，了儀器的量值準(zhǔn)確。

4.   測(cè)量參數(shù)多，應(yīng)用范圍廣。

5.   儀器采用CNC全封閉式控制技術(shù)，全自動(dòng)完成測(cè)量。

技術(shù)性能：

1、各線性軸：0.1µm

2、θ旋轉(zhuǎn)軸：0.1°

3、測(cè)頭分辨率：0.1µm

4、環(huán)境溫度：20℃&plun;1℃

可測(cè)范圍

1.   模數(shù)：1-15mm

2.   螺旋角：0-90°

3.   Z軸行程（垂直方向上下）：300mm

4.   T軸行程（切向）：&plun;150mm

5.   R軸行程（徑向）：200mm

6.   上、下間距：小40mm，600mm

7.   被測(cè)工件外徑：Φ450mm

8.   承軸：250kg