測(cè)試功能:
1. 主機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊,采用四坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng),三個(gè)直線坐標(biāo)軸和一個(gè)旋轉(zhuǎn)坐標(biāo)軸。兩個(gè)直線坐標(biāo)采用高封閉式氣浮導(dǎo)軌移動(dòng),另一個(gè)直線坐標(biāo)采用高密珠結(jié)構(gòu)導(dǎo)軌移動(dòng)。回轉(zhuǎn)主軸采用高氣浮結(jié)構(gòu),其機(jī)械結(jié)構(gòu)高、壽命長(zhǎng)、免維修等優(yōu)點(diǎn)。
2. 直線運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)采用電機(jī)絲杠驅(qū)動(dòng)。主軸驅(qū)動(dòng)采用了DDR直接驅(qū)動(dòng)技術(shù),具有慣性高、低速性能好、快速的動(dòng)態(tài)響應(yīng)能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。
3. 采用測(cè)量光柵,了儀器的量值準(zhǔn)確。
4. 測(cè)量參數(shù)多,應(yīng)用范圍廣。
5. 儀器采用CNC全封閉式控制技術(shù),全自動(dòng)完成測(cè)量。
技術(shù)性能:
1、各線性軸:0.1µm
2、θ旋轉(zhuǎn)軸:0.1°
3、測(cè)頭分辨率:0.1µm
4、環(huán)境溫度:20℃&plun;1℃
可測(cè)范圍
1. 模數(shù):1-15mm
2. 螺旋角:0-90°
3. Z軸行程(垂直方向上下):300mm
4. T軸行程(切向):&plun;150mm
5. R軸行程(徑向):200mm
6. 上、下間距:小40mm,600mm
7. 被測(cè)工件外徑:Φ450mm
8. 承軸:250kg








