技術(shù)參數(shù)：
1.電子：高亮度、方便維護(hù)的鎢燈絲電子
2.分辨率:
二次電子:
高真空模式 3.0nm @ 30kV; 8nm @ 3kV
高真空減速模式 7nm @ 3kV (可選項(xiàng))
低真空模式 3.0nm @ 30kV; 10nm @ 3kV
背散射電子:
4.0nm @ 30kV
3.加速電壓：200 V - 30 kV, 連續(xù)可調(diào)
4.探測(cè)器：E-T二次電子探測(cè)器，可選背散射探測(cè)器
5. 50x50mm 4軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)全對(duì)中樣品臺(tái)
主要特點(diǎn)：
1.分子泵真空系統(tǒng)
2.高穩(wěn)定性、高亮度鎢燈絲電子，滿足高分辨觀察和微觀分析的要求
3.FEI的LFD低真空二次電子探測(cè)器
4.可同時(shí)安裝能譜儀、波譜儀和EBSP系統(tǒng)
5.基于Windows XP的圖形用戶界面, 簡(jiǎn)單易用
