小流量氣體質(zhì)量流量控制器M3030V
氣體質(zhì)量流量控制器M3030V，采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，無需溫度壓力補償。氣體質(zhì)量流量控制器M3030V是一個可以手動設(shè)定或與電腦連接自動控制的氣體流量的穩(wěn)流裝置，能在較寬的量程范圍內(nèi)快速而地控制氣體流量。即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有輕微的變化，也不會影響其正常的工作。
小流量氣體質(zhì)量流量控制器M3030V產(chǎn)品亮點： |
-類 型：MFC氣體質(zhì)量流量控制器 -控制范圍：10sccm ～ 30slpm (sccm:標準毫升/分 slpm:標準升/分) -準度等級: ±1% F.S -耐 壓：≤90bar -標準接口：0-5VDC，4-20mA可選 -響應(yīng)時間：≤2sec -使用范圍：2~100% for max range -供電電源：+15~+28Vdc, 350Ma -漏 率：1×10-9atm·cc/sec -氣路連接：1/4”SWG，1/8”SWG，3/8”SWG，1/4”VCR |
-適用介質(zhì)：氣體（含腐蝕性氣體和有毒氣體） -無需溫度、壓力補償 |
小流量氣體質(zhì)量流量控制器M3030V
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應(yīng)用領(lǐng)域：
－分析儀器 －干刻（RIE/DRIE） －燃料電池
－生物技術(shù) －氣相色譜分析 －等離子刻蝕
－激光焊機 －混氣配氣系統(tǒng) －微反應(yīng)裝置
－真空鍍膜 －過程自動化 －石化工業(yè)
