產(chǎn)品簡(jiǎn)介 HS-T50無(wú)接觸厚度TTV電阻率綜合測(cè)試系統(tǒng)是一款廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能電池片制造過(guò)程中對(duì)表面厚度TTV電阻率無(wú)損測(cè)量的儀器。該儀器適用于Si，GaAs，InP，Ge等幾乎所有的材料，所有的設(shè)計(jì)都符合ASTM(美國(guó)材料實(shí)驗(yàn)協(xié)會(huì))和Semi標(biāo)準(zhǔn)，確保與其他工藝儀器的兼容與統(tǒng)一。 產(chǎn)品特點(diǎn) ■ 無(wú)接觸無(wú)損傷測(cè)量 ■ 適用的晶圓材料包括Si，GaAs，InP，Ge等幾乎所有的材料 ■ 抗干擾強(qiáng)，穩(wěn)定性好 ■ 強(qiáng)大的工控機(jī)控制和大屏幕顯示 ■ 一體化設(shè)計(jì)操作更方便，系統(tǒng)穩(wěn)定 ■ 為晶圓硅片關(guān)鍵生產(chǎn)工藝提供的無(wú)接觸測(cè)量 ■ 使用MTI Instruments獨(dú)有的推/拉技術(shù) 技術(shù)指標(biāo) ■ 測(cè)試尺寸：50mm- 300mm. ■ 厚度測(cè)試范圍：1000 um，可擴(kuò)展到1700 um. ■ 測(cè)試：+/-0.25um ■ 電阻率測(cè)試范圍：0.1-50 ohm.cm ■ 測(cè)量：2% ■ 晶圓硅片類(lèi)型：?jiǎn)尉Щ蚨嗑Ч?
北京合能陽(yáng)光新能源技術(shù)有限公司研究院
免企業(yè)未認(rèn)證證營(yíng)業(yè)執(zhí)照未上傳
掃一掃
進(jìn)入手機(jī)店鋪
