產(chǎn)品簡介 NCS-R90 無接觸方塊電阻測試系統(tǒng)是一款廣泛應(yīng)用于太陽能電池片制造過程中對表面方塊電阻進行無損測量的儀器。該儀器適用于Si，GaAs，InP，Ge等幾乎所有的材料，所有的設(shè)計都符合ASTM(美國材料實驗協(xié)會)和Semi標準，確保與其他工藝儀器的兼容與統(tǒng)一。 產(chǎn)品特點 ■ 無接觸無損傷測量 ■ 適用的晶圓材料包括Si，GaAs，InP，Ge等幾乎所有的材料 ■ 抗干擾強，穩(wěn)定性好 ■ 強大的工控機控制和大屏幕顯示 ■ 一體化設(shè)計操作更方便，系統(tǒng)穩(wěn)定 ■ 為晶圓硅片關(guān)鍵生產(chǎn)工藝提供的無接觸測量 ■ 使用MTI Instruments獨有的推/拉技術(shù) ■ 能適應(yīng)淺結(jié)測試 ■ 不會穿透PN結(jié) 技術(shù)指標 ■ 測試尺寸：50mm- 300mm. ■ 測量范圍：5-2000ohm/sq ■ 測量：2% ■ 測量重復(fù)：1%
北京合能陽光新能源技術(shù)有限公司研究院
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