產(chǎn)品介紹: SW-A100此型儀器是給晶片定向的專用儀器。用于晶棒切割后,進行晶片的角度測量。采用手工上下晶片,自動測量角度方式,可保證晶體角度測量的準確性。為切片工藝控制提供的保障。 產(chǎn)品特點: ■ 速度快,該儀器為自動化測量儀器。儀器為雙工作臺,分別測量晶片的端面及參考邊角度。雙側可同時進行測量 ■ 誤差小,開機校準方式為6次自動校準儀器,限度地消除校機誤差 ■ 采用DC高壓模塊,具有峰值放大的特殊積分器,檢測高 ■ 可測量角度的范圍可根據(jù)需要設置掃描范圍,范圍為3度 ■ 操作簡便,不需要知識和熟練的技巧 ■ 數(shù)字顯示角度,易觀察,出錯率低 ■ 每次測量結果可以被記錄并保存,并可以隨時獲取測量角度的平均值 技術參數(shù): 1.X射線發(fā)生器部分: ■ X射線管:銅靶,風扇冷卻,陽極接地 ■ 管電壓:30KVP,全壓合閘 ■ 管電流:0—5mA 連續(xù)可調 ■ 輸入電源:單相交流220V,50Hz ■ 整機總耗電功率不大于0.3 KW 2.測角儀部分: ■ 晶片直徑:2-8英寸 ■ 度、分、秒顯示方式:±15″,小讀數(shù)1″ ■ 測試范圍2θ角:-5~+110° ■ 定向:±30″ 3.外型尺寸:1132(長)×642(寬)×1200(高)mm。 4.重量:300kg; 典型客戶: 臺灣及國內藍寶石及半導體客戶。





