產(chǎn)品品牌：

COXEM【酷塞目】

產(chǎn)品型號：

CX-200DA

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性能指標(biāo)：
分辨率： 3.0nm (30kV, SE image) 10nm（3KV,SE image）
                  4.0nm (30kV, BSE image) 可選
放大倍數(shù)：10x~300,000x（WD=5mm）
加速電壓 0.5kV~30kV
電子槍：三級自給偏壓，偏壓電阻可自動/手動調(diào)節(jié)，預(yù)對中發(fā)叉式鎢絲陰極
透鏡系統(tǒng)： 三級電磁透鏡 2 個聚光鏡，一個園錐形物鏡
物鏡光闌： 4 孔可變光闌，搖擺對中合軸
圖像電位移和電旋轉(zhuǎn)： ±50 ? (WD: 10 ㎜)； 0-360°無限
樣品室： 內(nèi)徑φ210mm ，可擴(kuò)展接配EDS,BSE，WDS 等探測器
樣品臺及行程：  計算機(jī)導(dǎo)航五軸自動機(jī)械對中樣品臺
                              X: 65 ㎜, Y: 40 ㎜, Z: 5~65 ㎜, T: -20°~+90°, R: 360°
樣品尺寸：130mm(直徑) X 71mm (高度)
樣品臺控制方式： 自動/手動
操作系統(tǒng): PCI、USB 接口的PC 機(jī)控制, 奔騰4 兼容機(jī)，Windows XP, 19 英寸彩色顯示器，圖形用戶界面（GUI）嵌入多種圖像實時分析測量工具，鼠標(biāo)鍵盤操作
自動功能: 自動聚焦，自動亮度對比度，自動消象散，自動電子束對中，自動物鏡光闌合軸，自動電子槍加飽和，自動電子槍偏壓，動態(tài)聚焦，傾斜補(bǔ)償。
掃描模式:屏幕選區(qū)模式: 320 x 240 像素
                TV 屏幕掃描模式：640 x 480 像素
                全屏慢掃描模式: 800 x 600 像素 (3 檔速度)
                分屏掃描模式：1200 x 600 像素 (SE BSE 雙信號)
                 全屏照相獲取模式 1: 1280 x 960，2560 x 1920，5120 x 3840 像素
                  波形觀察模式
圖像格式 JPG, TIFF, BMP
語言 英語
真空系統(tǒng):全自動高真空系統(tǒng)，樣品室處真空度優(yōu)于1x10-5 Torr，真空度實時顯示. 高效油擴(kuò)散泵310 升/秒 +機(jī)械泵 100L/min）
外形尺寸和重量:主機(jī): 77(W)x88(D)x150(H)㎝, 350 ㎏
                             電腦桌: 85(W)x80(D)x70(H)㎝, 10 ㎏
安裝要求：電源 AC 220V, 60Hz, 2kVA
地線：獨立地線1 條，小于等于100Ω
溫度：15℃~30℃
濕度：小于等于70 %
交流磁場：小于等于0.3 uT
地面振動：5 um/sec Max.
門寬 900mm 或更寬