產(chǎn)品品牌：

NEMSIC美新

產(chǎn)品型號(hào)：

MXC6225xQ

簡(jiǎn) 介
MEMSIC 器件是基于單片 CMOS 集成電路制造工藝而
生產(chǎn)出來(lái)的一個(gè)完整的雙軸加速度測(cè)量系統(tǒng)就像其它
加速度傳感器有重力塊一樣MEMSIC 器件是以可移
動(dòng)的熱對(duì)流小氣團(tuán)作為重力塊器件通過(guò)測(cè)量由加速度
引起的內(nèi)部溫度的變化來(lái)測(cè)量加速度
MEMSIC 傳感器中的質(zhì)量塊是氣體氣態(tài)的質(zhì)量塊同
傳統(tǒng)的實(shí)體質(zhì)量塊相比具有很大的優(yōu)勢(shì)MEMSIC 的
器件不存在電容式傳感器所存在的粘連顆粒等問(wèn)題
同時(shí)能抵抗50000g 的沖擊這使得MEMSIC 器件的次
品率和故障率很低通過(guò)測(cè)量溫度變化來(lái)確定加速度的
裝置原理將在下面介紹
一個(gè)被放置在硅芯片中央的熱源在一個(gè)空腔中產(chǎn)生一
個(gè)懸浮的熱氣團(tuán)同時(shí)由鋁和多晶硅組成的熱電耦組被
等距離對(duì)稱地放置在熱源的四個(gè)方向在未受到加速度
或水平放置時(shí)溫度的下降陡度是以熱源為中心完全對(duì)
稱的此時(shí)所有四個(gè)熱電耦組因感應(yīng)溫度而產(chǎn)生的電壓
是相同的(見(jiàn)圖1)
由于自由對(duì)流熱場(chǎng)的傳遞性任何方向的加速度都會(huì)擾
亂熱場(chǎng)的輪廓從而導(dǎo)致其不對(duì)稱此時(shí)四個(gè)熱電耦組
的輸出電壓會(huì)出現(xiàn)差異而這熱電耦組輸出電壓的差異
是直接與所感應(yīng)的加速度成比例的在加速度傳感器內(nèi)
部有兩條完全相同的加速度信號(hào)傳輸路徑一條是用于
測(cè)量X 軸上所感應(yīng)的加速度另一條則用于測(cè)量Y 軸
上所感應(yīng)的加速度