- 產(chǎn)品品牌：
- Duke
- 產(chǎn)品型號：
- SURF-CAL
Duke SURF-CAL尺度標(biāo)準(zhǔn)微粒
SUR-CAL 為各種硅晶片的表面性狀的檢測和標(biāo)定提供了便利的工具。產(chǎn)品的粒徑復(fù)合儀器廠家所需的各種規(guī)格。
產(chǎn)品描述
杜優(yōu)嘉科學(xué)公司與半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)和半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)（SEMI）聯(lián)手開發(fā)了一系列標(biāo)準(zhǔn)尺度微粒產(chǎn)品， 為標(biāo)定表面掃描檢測系統(tǒng)（SSIS）的提供了有效、可靠、和便利的途徑。SURF-CAL系列產(chǎn)品完全符合SEMI行業(yè)協(xié)會(huì)的建立的SSIS標(biāo)定指導(dǎo)準(zhǔn)則， 微粒粒徑縱貫0.047到3.0微米的范圍， 覆蓋了國際半導(dǎo)體技術(shù)藍(lán)圖（ITRS）所定義的關(guān)鍵質(zhì)控點(diǎn)。
通過將SUR-CAL聚苯乙烯乳膠微粒沉積在特定的硅晶片（PSL）表面，用戶可以對掃描儀進(jìn)行周期性標(biāo)定，并可與其它的掃描儀進(jìn)行對比。 用戶還可以對生產(chǎn)環(huán)節(jié)中關(guān)鍵階段SSIS的性能做出評估。
產(chǎn)品包裝為50ml，微粒分散于超凈過濾去離子水中，微粒濃度 3 x 108 / ml。PD1100（粒徑1.112 μm）和小于這一粒徑的產(chǎn)品還提供1010 /ml 的產(chǎn)品包裝規(guī)格以滿足需要使用差別移動(dòng)粒子分析儀（DMA）和其它尺寸排除技術(shù)粒子分析儀器的客戶需求。
尺度測量方法學(xué)：
為了確保與NIST的直接可溯源性，產(chǎn)品的粒徑是直接從NIST提供的標(biāo)準(zhǔn)參考微粒通過電子顯微鏡或光學(xué)顯微鏡的測量中直接轉(zhuǎn)化而成的。尺度的不確定性是依照NIST技術(shù)筆記1297方法 （1994年版“NIST測量結(jié)果不確定性評估指導(dǎo)方案”）計(jì)算得到的。產(chǎn)品中所描述的不確定性為擴(kuò)大性不確定因素，覆蓋因子數(shù)為2 （K=2）。
產(chǎn)品規(guī)格說明
產(chǎn)品表格說明
微粒組成：
聚苯乙烯
微粒密度
1.05g/cm3
微粒數(shù)量：
3 x 108 or 1010 particles per mL
包裝規(guī)格：
50ml瓶裝，每盒6瓶
微粒折射率：
1.59 @ 589 nm (25°C)
添加劑：
無
產(chǎn)品保質(zhì)期：
≥2年
存儲(chǔ)條件：
冰箱儲(chǔ)藏（冰點(diǎn)以上）防止冰凍，緊閉瓶蓋防止污染
包裝內(nèi)容
標(biāo)定與溯源證書、粒子計(jì)數(shù)擬定程序、原料安全數(shù)據(jù)表（MSDS）
| Cat. No. | Description |
|---|---|
| PD-047 | Certified peak dia.: 0.047µm (Particles/mL: 3 x 108) |
| PD-047B | Certified peak dia.: 0.047µm (Particles/mL: 1010) |
| PD-064 | Certified peak dia.: 0.064µm (Particles/mL: 3 x 108) |
| PD-064B | Certified peak dia.: 0.064µm (Particles/mL: 1010) |
| PD-083 | Certified peak dia.: 0.083µm (Particles/mL: 3 x 108) |
| PD-083B | Certified peak dia.: 0.083µm (Particles/mL: 1010) |
| PD-092 | Certified peak dia.: 0.092µm (Particles/mL: 3 x 108) |
| PD-092B | Certified peak dia.: 0.092µm (Particles/mL: 1010) |
| PD-100 | Certified peak dia.: 0.100µm (Particles/mL: 3 x 108) |
| PD-100B | Certified peak dia.: 0.100µm (Particles/mL: 1010) |
| PD-125 | Certified peak dia.: 0.126µm (Particles/mL: 3 x 108) |
| PD-125B | Certified peak dia.: 0.126µm (Particles/mL: 1010) |
| PD-155 | Certified peak dia.: 0.155µm (Particles/mL: 3 x 108) |
| PD-155B | Certified peak dia.: 0.155µm (Particles/mL: 1010) |
| PD-200 | Certified peak dia.: 0.202µm (Particles/mL: 3 x 108) |
| PD-200B | Certified peak dia.: 0.202µm (Particles/mL: 1010) |
| PD-204 | Certified peak dia.: 0.204µm (Particles/mL: 3 x 108) |
| PD-204B | Certified peak dia.: 0.204µm (Particles/mL: 1010) |
| PD-215 | Certified peak dia.: 0.220µm (Particles/mL: 3 x 108) |
| PD-215B | Certified peak dia.: 0.220µm (Particles/mL: 1010) |
| PD-305 | Certified peak dia.: 0.304µm (Particles/mL: 3 x 108) |
| PD-305B | Certified peak dia.: 0.304µm (Particles/mL: 1010) |
| PD-365 | Certified peak dia.: 0.360µm (Particles/mL: 3 x 108) |
| PD-365B | Certified peak dia.: 0.360µm (Particles/mL: 1010) |
| PD-500 | Certified peak dia.: 0.498µm (Particles/mL: 3 x 108) |
| PD-500B | Certified peak dia.: 0.498µm (Particles/mL: 1010) |
| PD-800 | Certified peak dia.: 0.809µm (Particles/mL: 3 x 108) |
| PD-800B | Certified peak dia.: 0.809µm (Particles/mL: 1010) |
| PD-802 | Certified peak dia.: 0.802µm (Particles/mL: 3 x 108) |
| PD-802B | Certified peak dia.: 0.802µm (Particles/mL: 1010) |
| PD1100 | Certified peak dia.: 1.112µm (Particles/mL: 3 x 108) |
| PD1100B | Certified peak dia.: 1.112µm (Particles/mL: 1010) |
| PD1600 | Certified peak dia.: 1.57µm (Particles/mL: 3 x 108) |
| PD2000 | Certified peak dia.: 2.01µm (Particles/mL: 3 x 108) |
| PD3000 | Certified peak dia.: 3.04µm (Particles/mL: 3 x 108) |
