- 產(chǎn)品品牌：
- 美國AE（Advanced Energy）
- 產(chǎn)品型號：
- FC-7700CD
作為針對各種應(yīng)用的業(yè)界公認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)，Aera® FC-7700 系列 MFC 提供的流量控制，同時(shí)具備彈性密封的經(jīng)濟(jì)優(yōu)勢。對于半導(dǎo)體、平板顯示器、數(shù)據(jù)儲存、工業(yè)真空、及工業(yè)涂層的工藝及裝備工程師，這一系列提供針對非腐蝕性氣體應(yīng)用（包括 CVD、PVD、蝕刻、離子注入、濺射、熱氧化、光學(xué)玻璃鍍膜、光纖、表面處理以及其它鍍膜工藝）的高度可靠性和出色的性能。
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優(yōu)勢 |
特點(diǎn) |
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性價(jià)比高 | |
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FC-7700系列產(chǎn)品專為那些要求頂極性能，但不要求具有耐腐蝕性或超高漏率要求的應(yīng)用而定制，不僅性價(jià)比好，而且控制非常高。 |
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響應(yīng)速度快 | |
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FC-7700系列產(chǎn)品采用新技術(shù)設(shè)計(jì)，工作性能遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于同類質(zhì)量流量控制器MFC.其先進(jìn)之處包括：采用了一種敏感性強(qiáng)、響應(yīng)速度快的小直徑傳感器。另外，與采用低速熱敏閥的同類產(chǎn)品相比，F(xiàn)C-7700系列產(chǎn)品采用常開或常閉式電磁閥，具有較快的響應(yīng)速度。提高響應(yīng)速度之后，避免了出現(xiàn)過沖，達(dá)到設(shè)定點(diǎn)的時(shí)間不到2秒--在所有帶標(biāo)準(zhǔn)電磁閥的質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品中是快的。 |
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無與倫比的可靠性 | |
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由高質(zhì)量的電子組件和采用耐用、少元器件的設(shè)計(jì)理念，這使它可以經(jīng)受強(qiáng)射頻場的干擾，滿足其它運(yùn)轉(zhuǎn)要求，并具有同類產(chǎn)品中的零點(diǎn)漂移穩(wěn)定性--使用超過一年，零點(diǎn)漂移不到滿量程的0.5%。在投入使用的25，000件以上產(chǎn)品中，僅有不到0.5%的產(chǎn)品在出貨一年內(nèi)返修。 |
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易于集成 | |
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替換其它品牌，即可輕松獲得Area質(zhì)量流量控制器所具有的性能和可靠性方面的優(yōu)勢，且不會遇到安裝方面的麻煩。特定型號的產(chǎn)品帶有標(biāo)準(zhǔn)電氣接頭并具有臨界尺寸，可輕松裝入現(xiàn)有的系統(tǒng)。 |
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出從的效果 | |
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FC-7700系列質(zhì)量流量控制器帶給您的不僅僅是薄膜和刻蝕工藝的一致性，同時(shí)還有高度的可重復(fù)性。 |
型號參數(shù)：
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類別 |
FC-7700、7700C、7700CD、7700CU |
FC-7710、7710C、7710CD、7710CU |
FC-7720、7720C、7720CD |
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滿量程范圍 |
10sccm到5slm |
6到20slm |
35到150slm |
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20到50slm | |||
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響應(yīng)時(shí)間 |
到達(dá)設(shè)定點(diǎn)±2%所需時(shí)間<2秒 |
到達(dá)設(shè)定點(diǎn)±2%所需時(shí)間<3秒 | |
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滿量程±1%范圍內(nèi) |
滿量程±2%范圍內(nèi) | ||
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線性度 |
滿量程±0.5%范圍內(nèi) |
滿量程±0.5%范圍內(nèi) |
滿量程±1%范圍內(nèi) |
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滿量程±1%范圍內(nèi) | |||
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重復(fù) |
滿量程±0.2%范圍內(nèi) | ||
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漏率 |
值1×10-6 atm-cc/秒(氦) | ||
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控制范圍 |
滿量程的5到100% | ||
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壓差 |
7至40 psi |
10至40 psi(517至2069托) |
21至40 psi(1086至2069托) |
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(362至2069托) |
14至40 psi(724至2069托) | ||
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正常工作壓力 |
50 psi(2586托) | ||
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入口壓力 |
值150 psi(7740托) | ||
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溫度范圍 |
5至45℃ | ||
注：可根據(jù)不同客戶的需求，選擇全金屬密封的FC-7800CD系列，數(shù)字型的FC-D770系列，全金屬密封及數(shù)字型的FC-D980系列。
