- 產(chǎn)品品牌:
- MKS
- 產(chǎn)品型號(hào):
- 2179A
2179是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器,它帶有一個(gè)關(guān)閉閥,可在多種應(yīng)用場(chǎng)合測(cè)量和控制氣體的流量。配上合適的壓力傳感器,它還可以用作壓力控制器。
常閉的氣密關(guān)閉閥門正向關(guān)閉時(shí)的泄漏量?jī)H為4 x 10-9 scc/sec(He)。它具有數(shù)字和模擬兩種模式,其為全量程的1%和讀數(shù)的1%。2179具有很小的功耗:在常規(guī)直流±15V供電工作時(shí),單元電流僅有100mA(在初開機(jī)階段為200mA)。








