成都佳宏博科技公司
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實現(xiàn)測試過程中三維納米級微小位移，該系統(tǒng)由宏動和微動兩套X-Y-Z位移系統(tǒng)組成。 X-Y-Z軸宏動、微動組合的閉環(huán)控制；
X,Y軸宏動行程：15mm； Z軸宏動行程：25mm；
X,Y,Z軸宏動分辨率：<0.01μm；X,Y,軸宏動平臺負載：3kg；
Z軸宏動平臺負載：2kg；X,Y軸微動行程：100μm；Z軸微動行程：25μm； X,Y軸微動分辨率： 0.4nm； X,Y軸微動平臺負載:1kg； Z軸微動分辨率：0.1nm； Z軸控制器響應頻率：1.7kHz； Z軸微動平臺負載：0.2kg；
軟件：提供適用多種語言的驅動實用模塊庫；所提供的軟件功能強大，操作簡單，定位，具有RS-232 TCP/IP,USB,IEEE488 接口。
