- 品牌/商標(biāo)：德國PI
- 企業(yè)類型：制造商
- 新舊程度：全新
- 原產(chǎn)地：德國
實(shí)現(xiàn)測試過程中三維納米級微小位移，該系統(tǒng)由宏動(dòng)和微動(dòng)兩套X-Y-Z位移系統(tǒng)組成。 X-Y-Z軸宏動(dòng)、微動(dòng)組合的閉環(huán)控制；
X,Y軸宏動(dòng)行程：15mm； Z軸宏動(dòng)行程：25mm；
X,Y,Z軸宏動(dòng)分辨率：<0.01μm；X,Y,軸宏動(dòng)平臺(tái)負(fù)載：3kg；
Z軸宏動(dòng)平臺(tái)負(fù)載：2kg；X,Y軸微動(dòng)行程：100μm；Z軸微動(dòng)行程：25μm； X,Y軸微動(dòng)分辨率： 0.4nm； X,Y軸微動(dòng)平臺(tái)負(fù)載:1kg； Z軸微動(dòng)分辨率：0.1nm； Z軸控制器響應(yīng)頻率：1.7kHz； Z軸微動(dòng)平臺(tái)負(fù)載：0.2kg；
軟件：提供適用多種語言的驅(qū)動(dòng)實(shí)用模塊庫；所提供的軟件功能強(qiáng)大，操作簡單，定位，具有RS-232 TCP/IP,USB,IEEE488 接口。
