- 品牌/商標(biāo):德國PI
- 企業(yè)類型:制造商
- 新舊程度:全新
- 原產(chǎn)地:德國
實(shí)現(xiàn)測試過程中三維納米級微小位移,該系統(tǒng)由宏動(dòng)和微動(dòng)兩套X-Y-Z位移系統(tǒng)組成。 X-Y-Z軸宏動(dòng)、微動(dòng)組合的閉環(huán)控制;
X,Y軸宏動(dòng)行程:15mm; Z軸宏動(dòng)行程:25mm;
X,Y,Z軸宏動(dòng)分辨率:<0.01μm;X,Y,軸宏動(dòng)平臺(tái)負(fù)載:3kg;
Z軸宏動(dòng)平臺(tái)負(fù)載:2kg;X,Y軸微動(dòng)行程:100μm;Z軸微動(dòng)行程:25μm; X,Y軸微動(dòng)分辨率: 0.4nm; X,Y軸微動(dòng)平臺(tái)負(fù)載:1kg; Z軸微動(dòng)分辨率:0.1nm; Z軸控制器響應(yīng)頻率:1.7kHz; Z軸微動(dòng)平臺(tái)負(fù)載:0.2kg;
軟件:提供適用多種語言的驅(qū)動(dòng)實(shí)用模塊庫;所提供的軟件功能強(qiáng)大,操作簡單,定位,具有RS-232 TCP/IP,USB,IEEE488 接口。









