- 產(chǎn)品品牌:
- 上光
- 產(chǎn)品型號(hào):
- 測(cè)量顯微鏡 107JPC
- 類型:
- 其它
測(cè)量顯微鏡 107JPC 一、用途: 107JPC測(cè)量顯微鏡,采用透、反射的方式對(duì)工件長度和角度作精密測(cè)量。特別適用于大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密另件測(cè)量。廣泛地適用于計(jì)量室,生產(chǎn)作業(yè)線以及科學(xué)研究等部門。 在107J基礎(chǔ)上加裝光柵測(cè)量尺,數(shù)據(jù)采集系統(tǒng),將測(cè)量數(shù)據(jù)導(dǎo)入計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理,可進(jìn)行各種復(fù)雜的二維幾何測(cè)量。是光、機(jī)、電一體化的高科技精密測(cè)量儀器。 二、技術(shù)規(guī)格
| 鏡筒 | 粗 動(dòng) | 調(diào)節(jié)范圍 90毫米 | |
| 微 動(dòng) | 調(diào)節(jié)范圍 2毫米 | ||
| 高(Z)測(cè)量 | 1毫米小讀數(shù)0.001毫米(干分表讀數(shù)) | ||
| 鏡 筒 | 雙目鏡筒 俯角45° | ||
| 工作臺(tái) | 左右(X軸) | 移動(dòng)范圍50毫米 | |
| 前后(Y)軸 | 移動(dòng)范圍50毫米 | ||
| 分 辨 率 | 1微米 | ||
| 旋 轉(zhuǎn) | 360° | ||
| 照明系統(tǒng) | 光源 | 透射照明 | 8V-15W 藍(lán)、綠濾色片 |
| 反射照明 | 8V-12W 磨砂燈泡 綠色濾色片 | ||
| 斜照明 | 8V-15W | ||
| 電 源 | AC 220V±10% 50/60HZ | ||
| 光學(xué)系統(tǒng) | 目 鏡 | BWF 10X | |
| 物 鏡 | 4X 工作距離17.5 焦距28.8 | ||
| 10X 工作距離11.6 焦距15.4 | |||
| 40X 工作距離0.66 焦距4.4 | |||









