力平衡式伺服傾角傳感器的相對(duì)于電解質(zhì)原理或者是電容原理的傾角傳感器在非線性、重復(fù)性、遲滯、溫度漂移和工作溫度、抗沖擊、振動(dòng)等性能上要優(yōu)越得多。該型傳感器的輸出信號(hào)混雜有一定分量的噪聲，一般地，通過(guò)采用二階低通濾波器便可良好地解決。 通常力平衡式伺服傾角傳感器由非接觸位移傳感器、力矩馬達(dá)、誤差和放大電路、反饋電路、懸臂質(zhì)量塊五部分組成。懸臂質(zhì)量塊與力矩馬達(dá)的電樞連接在一起。非接觸位移傳感器用于檢測(cè)質(zhì)量塊的位移量和方向。當(dāng)整個(gè)傳感器發(fā)生傾斜時(shí)，懸臂質(zhì)量塊便離開(kāi)原來(lái)的平衡位置，非接觸位移傳感器檢測(cè)出該變化后，將位置信號(hào)送入誤差和放大電路，一方面?zhèn)鞲衅鬏敵雠c傾角成一定比例的模擬信號(hào)；另一方面，該信號(hào)經(jīng)反饋電路送入力矩馬達(dá)的線圈，此時(shí)，力矩馬達(dá)會(huì)產(chǎn)生一個(gè)與懸臂質(zhì)量塊運(yùn)動(dòng)方向相反、大小相等的力矩，力圖使懸臂質(zhì)量塊回到原來(lái)的平衡位置。這樣經(jīng)過(guò)一定的時(shí)間后，懸臂質(zhì)量塊就停留在一個(gè)新的平衡位置上，這時(shí)，傳感器輸出的信號(hào)才是真正有效的信號(hào)。該輸出信號(hào)一般為直流電壓信號(hào)，也可內(nèi)置V/I轉(zhuǎn)換，輸出4~20mA信號(hào)。但無(wú)論是輸出電壓或者電流信號(hào)，都與用度來(lái)表示的角度值成正弦關(guān)系。也就是說(shuō)，要直接以度、分、秒為計(jì)量單位來(lái)表示角度值是，必須將傳感器輸出的電壓或電流信號(hào)進(jìn)行反正弦運(yùn)算。
      力平衡式伺服傾角傳感器的相對(duì)于電解質(zhì)原理或者是電容原理的傾角傳感器在非線性、重復(fù)性、遲滯、溫度漂移和工作溫度、抗沖擊、振動(dòng)等性能上要優(yōu)越得多。該型傳感器的輸出信號(hào)混雜有一定分量的噪聲，一般地，通過(guò)采用二階低通濾波器便可良好地解決。

技術(shù)指標(biāo)
量程	±1.0°	±14.5°	±30°	±90°
靈敏軸非對(duì)準(zhǔn)性	<0.15°	<0.50°	<1.00°	<1.00°
漂移	<0.5V	<0.1V	<0.1V	<0.05V
非線性	<0.05°	<0.02°	<0.02°	<0.05°
帶寬-3dB,（典值）	3Hz	30Hz	30Hz	30Hz
滿量程輸出	±5.00 volts	±5.00volt	±5.00volt	±5.00volt
靈敏度非對(duì)準(zhǔn)性	<100 ppm/℃	<100 ppm/℃	<100 ppm/℃	<100 ppm/℃
零點(diǎn)溫度系數(shù)	<0.015V/℃	<0.001V/℃	<0.0005V/℃	<0.0003V/℃
分辨率	<0.00005°	<0.00005°	<0.00005°	<0.00005°
重復(fù)性	<0.002°	<0.003°	<0.003°	<0.003°
噪聲	<0.0002°rms	<0.002°rms	<0.002°rms	<0.002°rms
電源電壓	±12～±18VDC
消耗電流	<15mA
輸出阻抗	100Ω(典型值)
工作溫度	-40～+80℃
存儲(chǔ)溫度	-60～+90℃
沖擊	1000g,0.001second,1/2sine
振動(dòng)	20grms
密封	環(huán)氧密封