- 產(chǎn)品型號(hào):
- F50
- 測(cè)量范圍:
- 10nm-450um
F50透明/半透明膜厚測(cè)試儀
主要用于測(cè)試各種透明半透明的膜厚
品簡(jiǎn)介:
1 F50 配備全自動(dòng)R-θ和 X-Y工作臺(tái),有 200mm和300mm兩種型號(hào)可供選擇,客戶也可提供所需尺寸。測(cè)量速率高達(dá)2點(diǎn)/秒,通過(guò)快速掃描功能,可取得整片樣品的厚度分布情況以及光學(xué)參數(shù)(n 、k),有五種不同波長(zhǎng)選擇(波長(zhǎng)范圍從紫外220nm至近紅外1700nm) ;
2 測(cè)量的薄膜厚度范圍從10nm到450um,為 0.1nm 。
主要特點(diǎn):
1 操作簡(jiǎn)單、使用方便;
2 測(cè)量快速、準(zhǔn)確;
3 體積小、重量輕;
4 價(jià)格便宜。
應(yīng)用領(lǐng)域:
1 半導(dǎo)體行業(yè): 光阻、氧化物、氮化物;
2 LCD 行業(yè): 液晶盒間隙厚度、 Polyimides;
3 光電鍍膜應(yīng)用: 硬化膜、抗反射膜、濾波片;








