SLP 系列是海德星科技自主研發(fā)生產(chǎn)的由壓電線性馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的平臺(tái)系列，SLP.DX.75RL.01平臺(tái)采用優(yōu)質(zhì)的交叉滾柱直線導(dǎo)軌并通過線性馬達(dá)直接驅(qū)動(dòng)，避免了傳統(tǒng)伺服電機(jī)或步進(jìn)電機(jī)因?yàn)榻Y(jié)構(gòu)上的原因而造成的回程誤差。同時(shí)全系列平臺(tái)采用光柵以及的運(yùn)動(dòng)控制卡進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋及運(yùn)動(dòng)控制，確保了該平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)特性以及定位。海德星科技的全系列SLP 平臺(tái)兼顧了標(biāo)準(zhǔn)化及客戶定制化的需求，的技術(shù)團(tuán)隊(duì)及加工水平保證了能在短時(shí)間內(nèi)為客戶提供量身定做的方案，并同步轉(zhuǎn)化為標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品的實(shí)力。SLP.DX 系列一維平臺(tái)采用兩個(gè)對(duì)稱的壓電線性馬達(dá)，相對(duì)SLP.X 系列平臺(tái)，具備更大的推力及系統(tǒng)穩(wěn)定性，可以定制從5mm 行程至200mm 行程的不同規(guī)格，并有針對(duì)真空、無磁等各種特殊應(yīng)用要求的方案可供選型。簡單緊湊的模塊化設(shè)計(jì)理念，使得全系列平臺(tái)具備與其它通用產(chǎn)品兼容和組合的優(yōu)點(diǎn)，使用簡單便捷，具有的綜合特性，是實(shí)驗(yàn)室及OEM 應(yīng)用的理想選擇。SLP.DX.75RL.01 規(guī)格參數(shù)行程1 75mm（X 軸）馬達(dá) HDS-HF2 或HDS-HF4馬達(dá)推力 15~18N（雙HDS-HF2）或30~36N（雙HDS-HF4）速度 200mm/s小步長 0.1um光柵分辨率 0.5um（1um、0.1um、50nm、10nm 可選）負(fù)載 7kg重復(fù)定位2 ±2um限位開關(guān)3 光柵帶中心原點(diǎn)，標(biāo)準(zhǔn)品為機(jī)械限位結(jié)構(gòu)材質(zhì) 鋁合金6061-T6（不銹鋼可選）裝配質(zhì)量 1kg1 5mm、10mm、25mm、50mm、100mm、125mm、150mm、175mm、200mm 行程可選（不同行程平臺(tái)的尺寸規(guī)格略有不同，具體請(qǐng)咨詢廠商）2 重復(fù)定位參考數(shù)值：1um 分辨率光柵反饋對(duì)應(yīng)±3um 重復(fù)定位0.5um 分辨率光柵反饋對(duì)應(yīng)±2um 重復(fù)定位0.1um 分辨率光柵反饋對(duì)應(yīng)±0.5um 重復(fù)定位50nm 分辨率光柵反饋對(duì)應(yīng)±250nm 重復(fù)定位10nm 分辨率光柵反饋對(duì)應(yīng)±50nm 重復(fù)定位3 限位開關(guān)：可選光柵光學(xué)限位及機(jī)械限位使用環(huán)境：實(shí)驗(yàn)室、無塵室、真空環(huán)境使用（具體細(xì)節(jié)請(qǐng)咨詢廠商）環(huán)境溫度: 0 – 50°C保存溫度: -40°C - +70°C濕度: 0 – 80% 無結(jié)露
海格威公司產(chǎn)品型錄
自主創(chuàng)新產(chǎn)品：壓電馬達(dá)、超聲電機(jī)、壓電直線馬達(dá)、壓電旋轉(zhuǎn)馬達(dá)
精密光學(xué)系統(tǒng)：電動(dòng)納米位移臺(tái)、精密探針臺(tái)、電動(dòng)顯微鏡平臺(tái)、電動(dòng)精密顯微鏡平臺(tái)、電動(dòng)顯微鏡變焦系統(tǒng)、Optotune變焦鏡頭 、激光消斑器
運(yùn)動(dòng)控制器： 以色列ACS多軸控制器
美國GALIL多軸控制卡
Allmotion運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)控制器
美國PARKER運(yùn)動(dòng)控制器
直線電機(jī)： 美國AIREX直線電機(jī)
交流伺服電機(jī)：日本Panasonic、Yaskawa
步進(jìn)電機(jī)： 美國PEAKSERVO步進(jìn)及控制器
光柵： 美國MicroE直線光柵、圓光柵以及旋變
英國雷尼紹公司的直線光柵和圓光柵
運(yùn)動(dòng)平臺(tái)： 美國ALIO全系列精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、多軸直線平臺(tái)、旋轉(zhuǎn)臺(tái)、并聯(lián)六自由度平臺(tái)、力矩電機(jī)平臺(tái)、直線電機(jī)平臺(tái)、美國PARKER公司的全系列產(chǎn)品
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