- 類型：
- 質(zhì)量流量計(jì)
- 測(cè)量范圍：
- -- m3/h
型號(hào): SLA5851S 品牌: BROOKS 上海網(wǎng)磁電子有限公司供應(yīng)美國(guó)原裝、全新
的質(zhì)量流量計(jì)－MFC,BROOKS。用于制造
單晶硅爐和多晶硅爐設(shè)備上面使用，適用的氣體
有氮?dú)?、氬氣、氫氣、氧氣等純凈氣體。
氣體的量程：50－120SLM,數(shù)字和模擬兼容
電氣接口：D型15針 管道接口：3/8"VCR
交貨周期：4周左右，長(zhǎng)期訂貨，周期還會(huì)短。
可以完全替代和兼容MKS的相關(guān)流量計(jì)。
Analog I/O Option:
• 15-pin D-Connector
• 0(1)-5 Volt or 0(4)-20 mA setpoint and flow signals
• Single sided 24 Volt DC power supply
(13.5-27 volts DC range).
• Separate Valve-Override signal
• Precision 5 Volt Reference Output signal
• Compatible with Brooks' Model 0150 series
secondary electronics
• TTL (open collector) Alarm Output signal
Digital Communication Options:
• DeviceNetTM, ODVATM certified
• FOUNDATIONTM Fieldbus, H1 Certified
• HART® based RS-485 multidrop 全線代理韓國(guó)TK的各種接頭、閥門、不銹鋼管，歡迎洽談。
